產品型號

PCE-6 小型等離子清洗機

主要特點

1、通過控制面板的按鍵及開關，可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

2 、時間、功率、 真空度等信息顯示在一組 4 位數碼管上。

3 、設有一個三通閥， 可精確控制進氣流量， 以及大氣流清洗腔體，進氣接口為 6mm 卡套 接口。

4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術參數

1 、電源： AC220V    50/60Hz

2、輸出功率： 7.2W 、10.2W 、29.6W

3、真空泵功率： <500W

4、總功率： <600W

5、射頻頻率： 3.0MHz ，功率 3 檔可手動調節

6 、等離子腔體： 高純石英腔體， ?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭 上設有 ?45mm 的觀察窗

7、真空泵： 240L/min，直連式雙旋真空泵

8、極限真空度： 50mtorr

9 、通入氣體： 可通入多種氣體來產生等離子， 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合氣體等（根 據材料性質選定）

清洗及蝕刻

產品規格

尺寸： 400mm×300mm×300mm，重量： 10.2kg

可選配件

1 、2"-6"石英舟（盛放基片）

2 、2-4 通道質子或浮子混氣系統