化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)> VTC-100PA-Ⅱ真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
VTC-100PA-Ⅱ真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
- 公司名稱(chēng) 北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/3/7 23:26:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 344
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: VTC-100PA- Ⅱ真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于 強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備, 該儀器上蓋具有加熱功能, 可在涂膠后直接完成烤膠的工藝操作。設(shè) 備標(biāo)配兩個(gè)不同大小的真空吸盤(pán), 可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤(pán)。 VTC-100PA- Ⅱ真空旋轉(zhuǎn)涂 膜機(jī)工作時(shí)利用真空盤(pán)吸附的方式將樣品固定在載樣盤(pán)上,該設(shè)備可儲(chǔ)存 12 組程序,每組程序包含 6 個(gè)運(yùn) 行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同, 使設(shè)備緩慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在樣品表面均勻 成膜,且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi),節(jié)約材料。VTC-100PA- Ⅱ真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等 優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。 |
5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán),且更換方便簡(jiǎn)單。 6 、電機(jī)采用直流無(wú)刷電機(jī),無(wú)級(jí)調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震 動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 | ||||
7、采用無(wú)油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 8、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng), 提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能; 機(jī)身 采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。 9、全英文操作系統(tǒng)。 10、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。 11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。 | ||||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源: 220V 50HZ 2、電機(jī)功率: 350W/24V 3、速度范圍: 500rpm-10000rpm 4、程序運(yùn)行: 可儲(chǔ)存 12 組程序, 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段,每段時(shí)間范圍: 0—60s。 5、增減速率設(shè)置范圍: 100rpm/s-2000rpm/s
溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián) | |||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 450mm×280mm×340mm;重量: 20kg | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤(pán)(含 O 型圈) | ||
2 個(gè)(?19mm 和 ?60mm) | ||||
2 | 中心定位器(含 4 個(gè)定位柱) | 1 個(gè) |
3 | 滴膠注射器(20ml) | 1 個(gè) | |
4 | 注射器支架 | 1 個(gè) | |
5 | 無(wú)油真空泵 | 1 臺(tái) | |
6 | 橡膠管(含卡箍) | 1 根 |