產品型號

SE-L 光譜橢偏儀

主要特點

1、高精度自動測量光學橢偏測量解決方案

2、全自動變角、調焦等控制平臺，一鍵快速測量

3、軟件交互式界面配合輔助向導式設計，易上手、操作便捷

4、豐富的數據庫和幾何結構模型庫，保證強大數據分析能力

5、采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍

(193-2500nm)

6、高精度旋轉補償器調制、 PCRSA 配置， 實現Psi/Delta光譜數據高速采

集

7、全自動橢偏測量技術，基于行業電機控制技術，全自動調整測量角

度，高精度控制樣件臺，實現樣件快速自動對準找焦

8、頤光技術確保在寬光譜范圍內，提供優質穩定的各波段光譜

9、數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術參數

1、自動化程度：自動變角

2、應用定位：自動型

3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光譜

4、分析光譜： 380-1000nm(可擴至 193-2500nm)

5、單次測量時間： 0.5-5s

6、重復性測量精度： 0.01nm

7、光斑大小： 大光斑 2-3mm,微光斑 200um

8、入射角調節方式：自動變角

9、入射角范圍： 45-90°

10、找焦方式：自動找焦

11、Mapping 行程： 支持 100x100mm(可選配)

12、支持樣件尺寸： 至 200mm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動:45-90°

其他選擇

Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺:室溫一 600℃(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺

2

Mapping 擴展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件