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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>物理氣相沉積設備>MS450 小型鍍膜設備

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MS450 小型鍍膜設備

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       江蘇雷博科學儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業的實驗室儀器開發為目標的海歸創業企業。2020年8月,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發展起來的的工業半導體設備業務分拆出來成立了江蘇雷博微電子設備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨立經營不同系列產品。公司主營高檔實驗室儀器及半導體設備開發業務。公司技術力量雄厚,人才濟濟,憑借雄厚的技術實力不斷進行新產品開發和創新實現,在納米薄膜制備類儀器領域取得了顯著的市場地位。公司生產的高精度高可靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術產品,是國內勻膠機全系列、多功能、定制化服務的供應商。
       公司生產和銷售不同領域的高檔科研儀器和工業半導體設備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、烤膠機、提拉機、噴膠機、涂膜機、狹縫涂布機等相關產品;LEBO science®是我們的工業半導體設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、蝕刻機、去膠機、清洗機等獨立柜式機臺及工業全自動機臺。
       公司產品被廣泛應用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及先進封裝等領域,具有核心技術可靠、高性價比、定制化服務的競爭優勢。 

       公司目前團隊人數80多人,業績和規模處于快速擴展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長,目前正準備二輪融資擴產。公司生產廠房設有裝配潔凈車間及黃光試驗區,其中生產區域約1500平方米,辦公及倉儲區域約1000平方米。

勻膠機,烤膠機,涂膜機,狹縫涂布機,紫外清洗機,電解雙噴儀

  小型鍍膜設備是為掃描電鏡和電子探針等進行試樣制備的設備,可進行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析,尤其是成分的定量分析更為適宜。本儀器配有機械泵、分子泵,分子泵系統特別適用于對真空度要求高、真空環境好的用戶選用。
 
  1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
 
  2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動控制系統等組成。
 
  3.該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。
 
  4.主要用途:
 
  1. 開發納米級單層、多層及復合膜層等。
 
  2. 制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質膜等,例:銀、鋁、 銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......
 
  3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。
 
  5.應用領域:
 
  1. 高校、科研院所的教學、科研實驗及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。
 
  2. 鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV 太陽能電池等行業。
 
  薄膜均勻性概念:
 
  1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內,也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實現10A甚至1A的表面平整。
 
  2、化學組分上的均勻性: 就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學,那么實際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
 
  3、晶格有序度的均勻性: 這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。
 


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