A.    

工作室尺寸

1、 真空容器：Φ1000×1200mm（直徑×直段長度）；

2、 有效工作區（熱沉內）：Φ800×1100mm（直徑×直段長度）0.55m3

外形尺寸

2800×1500×2000mm（D×W×H）

*外形尺寸包括了控制箱等全部突出尺寸

B.    

真空度指標

1、 極限真空度：≤5×10-5Pa（空載、真空潔凈狀態）

2、 空載真空度：≤5×10-4Pa（空載）

3、 工作真空度：≤1.3×10-3Pa（負載）

4、 降壓速率：常壓→1.3×10-3Pa≤90min

5、 泄漏率：≤1×10-8Pa·m3/s

6、 壓力恢復速率：≤10KPa/min

C.    

溫度指標

1、 提供熱沉+電熱鼠籠結構，即可提供環境溫度控制能力；

2、 制冷模式：壓縮機復疊制冷系統+液氮輔助制冷系統

3、 熱沉可控制溫度范圍：

1)   機械制冷+鼠籠加熱：可滿足-70℃～+130℃；

2)   液氮制冷：-70℃～-130℃；

4、 控溫精度：

1)   -70℃～+130℃范圍內：≤±1℃；

2)   -70℃～-130℃范圍內：≤±5℃；

5、 熱沉溫度均勻度：≤±3℃（穩態測試）；

6、 熱沉升降溫速率：

1)   -70℃～+130℃范圍內：≥2℃/min；

2)   -70℃～-130℃范圍內：≥0.5℃/min；

D.    

設備噪音

小于75分貝

E.    

設備總裝機容量

設備總裝機功率：～26.5KW，其中

1、 旋片泵：2.2KW*1臺

2、 羅茨泵：1.1KW*1臺

3、 低溫泵：5.0KW*1臺

4、 加熱器：9.0KW

5、 制冷機組：6HP*2臺

6、 照明：40W