XM 超精密線性電機(jī)平移臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)
	XMS50-S	XMS100-S	XMS160-S	XML210-S	XML350-S
行程范圍	50 mm	100 mm	160 mm	210 mm	350 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s
中心負(fù)載能力	100 N	100 N	100 N	300 N	300 N
精度，典型值	±0.2 µm	±0.3 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
精度，保證值	±0.75 µm	±0.75 µm	±0.75 µm	±1.5 µm	±1.5 µm
最小位移增量 2	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.030 µm	±0.030 µm	±0.030 µm	±0.032 µm	±0.035 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm
連續(xù)運(yùn)動(dòng)力 3	25 N	25 N	25 N	50 N	50 N
峰值驅(qū)動(dòng)力	100 N	100 N	100 N	240 N	240 N
偏擺，典型值	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±40 µrad	±40 µrad
俯仰，典型值	±10 µrad	±12 µrad	±12 µrad	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±50 µrad	±50 µrad
平面度，典型值（保證值） 4	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.75 (±1.50) µm	±0.75 (±1.50) µm
直線度典型值（保證值） 5	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.75 (±1.50) µm	±0.75 (±1.50) µm
俯仰順應(yīng)性	6.0 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	0.7 µrad/Nm
偏擺順應(yīng)性	8.0 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	1.0 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	3.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	1.5 µrad/Nm	0.5 µrad/Nm	0.1 µrad/Nm
原點(diǎn)重復(fù)精度	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm
重量	2.5 kg	3.5 kg	4.5 kg	13 kg	22 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注釋:

1. 最大速度取決于驅(qū)動(dòng)器。 聯(lián)系Newport以獲得更多信息。

2. 最小增量運(yùn)動(dòng)（MIM） 取決于驅(qū)動(dòng)器類(lèi)型和環(huán)境，有關(guān)更多信息，請(qǐng)查閱數(shù)據(jù)表。

3. 連續(xù)運(yùn)動(dòng)力與驅(qū)動(dòng)器相關(guān)。聯(lián)系Newport 以了解更多信息。

4. 行程中部80%。要得到弧秒單位，請(qǐng)將 µrad 值除以 4.8。

XM 超精密線性電機(jī)平移臺(tái)特征

適用于激光加工應(yīng)用

XM平移臺(tái)是激光微加工、標(biāo)記、切割和納米圖案形成等應(yīng)用的理想平移臺(tái)。此視頻顯示兩個(gè)XM平移臺(tái)堆疊在由NewportXPS控制器驅(qū)動(dòng)的2軸(XY)系統(tǒng)中，用于與振鏡掃描器同步的復(fù)雜、平滑、超高精度運(yùn)動(dòng)。

3軸超精密

XM系列直接驅(qū)動(dòng)平移臺(tái)為苛刻的應(yīng)用提供超高精度運(yùn)動(dòng)。此視頻顯示由兩個(gè)XM平移臺(tái)和一個(gè)xms-v垂直平移臺(tái)組成的組件，該組件提供3個(gè)軸(XYZ)的運(yùn)動(dòng)，可用于聚焦、傳感器測(cè)試/校準(zhǔn)、直接激光光刻和精密組裝等應(yīng)用。

可以通過(guò)命令控制 1 nm 位移步長(zhǎng)

超精密設(shè)計(jì)和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線性平移臺(tái)系列能夠在受控環(huán)境中通過(guò)一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移臺(tái)能夠在受控環(huán)境中使用XPS-D控制器進(jìn)行1-nm增量運(yùn)動(dòng)。

創(chuàng)新的中心驅(qū)動(dòng)、無(wú)鐵、直接驅(qū)動(dòng)線性電機(jī)

與螺釘驅(qū)動(dòng)平移臺(tái)不同，XM采用中心驅(qū)動(dòng)、無(wú)鐵芯線性電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)元件。由于線性電機(jī)是無(wú)摩擦的直接驅(qū)動(dòng)設(shè)備，因此沒(méi)有限制運(yùn)動(dòng)性能的側(cè)隙或滯后、卷繞或靜摩擦。線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)器還具有更高的速度、加速度和系統(tǒng)響應(yīng)性的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)沒(méi)有電機(jī)電刷或驅(qū)動(dòng)螺釘?shù)哪p。超大、無(wú)鐵芯電機(jī)線圈能確保零齒槽，實(shí)現(xiàn)超平滑速度控制，與其他平移臺(tái)設(shè)計(jì)相比，具有更高的效率。這將導(dǎo)致產(chǎn)生的熱量顯著減少，發(fā)熱通常是超精密運(yùn)動(dòng)應(yīng)用的主要限制因素。為了進(jìn)一步改善熱管理及其對(duì)平移臺(tái)性能的影響，XM 平移臺(tái)還具有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，其磁軌和平移臺(tái)托架之間采用了成熟的全程去耦機(jī)制。

XM平移臺(tái)在連續(xù)掃描或激光加工應(yīng)用中提供出色的速度穩(wěn)定性。 顯示的是使用干涉儀以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實(shí)現(xiàn)超高精密控制

為了確保精確的軌跡控制，XM平移臺(tái)具有配套的同類(lèi)最佳防蠕動(dòng)式交叉滾子軸承對(duì)。這些軸承中沒(méi)有再循環(huán)元件，因此可以為苛刻的掃描和檢測(cè)系統(tǒng)提供充足的無(wú)波紋運(yùn)動(dòng)。而且，齒輪保持架會(huì)防止軸承罩移位，其他直線軸承產(chǎn)品可能出現(xiàn)此類(lèi)移位。

線性誤差校正后XMS50-S平移臺(tái)的精度，當(dāng)級(jí)以100毫米/秒的速度運(yùn)動(dòng)時(shí)，以10 khz的速率動(dòng)態(tài)測(cè)量。

面向最佳 XY 組件的 T 形托架設(shè)計(jì)

在 XM 上使用的 T 形托架為精密 XY 組件提供了最佳解決方案，同時(shí)不會(huì)影響平移臺(tái)預(yù)載荷。與具有 C 形托架設(shè)計(jì)的平移臺(tái)相比，它更加堅(jiān)固，并能適應(yīng)非理想的安裝條件。

具有超表面平整度的花崗巖底座

表面平整度是影響運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)定位精度和可重復(fù)定位精度的主要因素。經(jīng)過(guò)研磨的花崗巖板是市面上可以買(mǎi)到的最平坦表面之一。花崗巖具有緊密的平面度公差和較高的硬度，使其成為補(bǔ)充 Newport 超精密線性電機(jī) XM 系列平移臺(tái)的必然選擇。GB 系列花崗巖底座采用 3 點(diǎn)安裝，可安裝在非平面平臺(tái)上。邊緣手柄可用于處理底座以及將底座定位在工作表面上。

誤差顯示服務(wù)

對(duì)于苛刻的定位應(yīng)用，Newport提供微定位校準(zhǔn)服務(wù)。當(dāng)我們的XPS高級(jí)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)發(fā)出指令時(shí)，我們將創(chuàng)建、實(shí)施和驗(yàn)證電子補(bǔ)償過(guò)程，從而提高 Newport XM 平移臺(tái)的絕對(duì)位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準(zhǔn)服務(wù)。 測(cè)試在20.0±0.2℃下進(jìn)行。 您的平移臺(tái)將提供校準(zhǔn)證書(shū)，也可根據(jù)要求提供實(shí)際數(shù)據(jù)。

用于超可重復(fù)移動(dòng)的高精密線性玻璃標(biāo)尺

高精密線性標(biāo)尺提供了精確的位置反饋。該低熱膨脹標(biāo)尺精確對(duì)準(zhǔn)并安裝在平移臺(tái)中心，將溫度變化對(duì)平移臺(tái)的可重復(fù)定位性和定位精度的影響降至很低。編碼器信號(hào)由具有亞納米分辨率和小于 1 nm 噪聲的 Newport XPS 運(yùn)動(dòng)控制器進(jìn)行插值，從而實(shí)現(xiàn)出色的定位靈敏度和穩(wěn)定性。絕對(duì)原點(diǎn)位置和極限信號(hào)集成到編碼器標(biāo)尺上，無(wú)需任何其他電子或機(jī)械結(jié)構(gòu)，便可提高可靠性和精度。

通過(guò)精密制造實(shí)現(xiàn)超高性能

XM平移臺(tái)是由應(yīng)力消除的高強(qiáng)度鋁加工而成，能確保長(zhǎng)期的強(qiáng)度和穩(wěn)定性。所有關(guān)鍵的平移臺(tái)表面都進(jìn)行多次加工，然后在嚴(yán)格的溫度和質(zhì)量控制下進(jìn)行精密磨削，以進(jìn)一步提高整體性能和精度。

節(jié)省空間的高可靠性設(shè)計(jì)

所有 XM 平移臺(tái)電子設(shè)備都固定到穩(wěn)定的底座，因此平移臺(tái)內(nèi)部沒(méi)有移動(dòng)電纜。這種設(shè)計(jì)非常緊湊，并具有出色的可靠性和安全性。節(jié)省空間的固定讀頭設(shè)計(jì)避免了在平移臺(tái)內(nèi)部添加移動(dòng)電纜，并加強(qiáng)了 XM 平移臺(tái)的穩(wěn)健性和可靠性，例如將 MTBF 提高到 20,000 小時(shí)。

免費(fèi)提供計(jì)量報(bào)告

Newport保證按照ASME B5.57和ISO 230-2標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和記錄的規(guī)范值。典型性能值是保證規(guī)格的兩倍。

XM系列平移臺(tái)負(fù)載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.