SEM5000X 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
- 公司名稱 國儀量子技術(shù)(合肥)股份有限公司
- 品牌 國儀量子
- 型號 SEM5000X
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/29 17:48:50
- 訪問次數(shù) 2741
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EPR電子順磁共振波譜儀、SEM掃描電子顯微鏡、比表面及孔徑分析儀、高溫高壓吸附儀、金剛石量子計算機、任意波形發(fā)生器、數(shù)字延時脈沖發(fā)生器、鎖相放大器
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 儀器種類 | 熱場發(fā)射 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,石油,能源,電子,制藥 |
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
•超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
•樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
•高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計,可搭配整體罩殼設(shè)計,極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
應(yīng)用案例
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