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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>RTP-Table-6 桌面式半導體快速退火爐

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RTP-Table-6 桌面式半導體快速退火爐

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司致力于為用戶提供專業的表面處理與檢測整體解決方案,集研發、設計、生產、銷售及產業鏈服務為一體的企業。

是接觸角國家標準(GB/T 30693-2014)參與制定者,擁有行業內等離子實驗室,與華南理工大學創建等離子技術聯合實驗室,并擁有10多位行業技術專家。團隊成員以多年從事材料表面、電子電氣、工業自動化等領域研發的博士、碩士、學士為主,本科學歷以上占比50%,涵蓋業內華南理工等各大高校人才,打造業界的研發團隊。

Apple、華為、小米、OPPO、京東方、富士康、比亞迪、藍思、伯恩、兆馳、三安光電、清華大學、北京大學、復旦大學等企業及科研院校長期合作伙伴。

企業愿景:致力于為用戶提供專業的表面處理與檢測整體解決方案!

企業價值觀:誠信 感恩 創新 專業 擔當 成長 同心 拼搏






接觸角測量儀,等離子清洗機,半導體快速退火爐、USC干式超聲波,靜電消除器

桌面式半導體快速退火爐,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設備,標配三組工藝氣體,可最大兼容6英寸晶圓Wafer。

桌面式半導體快速退火爐的產品優勢

?紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷;

?采用快速PID溫控,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現性和溫度均勻性;

?采用平行氣路進氣方式,氣體進出口設置在晶圓表面,避免退火過程中冷點產生,保證良好的溫度均勻性;

?大氣與真空處理方式均可選擇,實現進氣前氣體凈化處理。

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晟鼎與華南理工大學聯合創建等離子技術聯合實驗室,所有產品系列皆通過CE認證。

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