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RTP-SA-12 半自動快速退火爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測整體解決方案,集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的企業(yè)。

是接觸角國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T 30693-2014)參與制定者,擁有行業(yè)內(nèi)等離子實(shí)驗(yàn)室,與華南理工大學(xué)創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,并擁有10多位行業(yè)技術(shù)專家。團(tuán)隊(duì)成員以多年從事材料表面、電子電氣、工業(yè)自動化等領(lǐng)域研發(fā)的博士、碩士、學(xué)士為主,本科學(xué)歷以上占比50%,涵蓋業(yè)內(nèi)華南理工等各大高校人才,打造業(yè)界的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。

Apple、華為、小米、OPPO、京東方、富士康、比亞迪、藍(lán)思、伯恩、兆馳、三安光電、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等企業(yè)及科研院校長期合作伙伴。

企業(yè)愿景:致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測整體解決方案!

企業(yè)價(jià)值觀:誠信 感恩 創(chuàng)新 專業(yè) 擔(dān)當(dāng) 成長 同心 拼搏






接觸角測量儀,等離子清洗機(jī),半導(dǎo)體快速退火爐、USC干式超聲波,靜電消除器

溫度范圍 室溫~1250℃ 最高升溫速度 ≤25℃/s(SiC載盤)
溫控方式 快速PID溫控 溫度控制重復(fù)性 ±1℃

半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護(hù)氣氛下的半自動立式快速退火系統(tǒng),可兼容4-12英寸晶圓Wafer。

半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢

?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷;

?快速PID溫控,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性;

?采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,保證良好的溫度均勻性;

?大氣與真空處理方式均可選擇,實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理;

?標(biāo)配兩組工藝氣體,最多可擴(kuò)展至6組工藝氣體。

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晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機(jī)、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。

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氧化擴(kuò)散設(shè)備


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