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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>RTP-DTS-8 全自動雙腔半導體退火爐

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RTP-DTS-8 全自動雙腔半導體退火爐

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司致力于為用戶提供專業的表面處理與檢測整體解決方案,集研發、設計、生產、銷售及產業鏈服務為一體的企業。

是接觸角國家標準(GB/T 30693-2014)參與制定者,擁有行業內等離子實驗室,與華南理工大學創建等離子技術聯合實驗室,并擁有10多位行業技術專家。團隊成員以多年從事材料表面、電子電氣、工業自動化等領域研發的博士、碩士、學士為主,本科學歷以上占比50%,涵蓋業內華南理工等各大高校人才,打造業界的研發團隊。

Apple、華為、小米、OPPO、京東方、富士康、比亞迪、藍思、伯恩、兆馳、三安光電、清華大學、北京大學、復旦大學等企業及科研院校長期合作伙伴。

企業愿景:致力于為用戶提供專業的表面處理與檢測整體解決方案!

企業價值觀:誠信 感恩 創新 專業 擔當 成長 同心 拼搏






接觸角測量儀,等離子清洗機,半導體快速退火爐、USC干式超聲波,靜電消除器

快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源,通過極快的升溫速率,將材料在極短的時間內從室溫加熱到300℃-1250℃,從而消除材料內部的一些缺陷,改善產品性能。

全自動雙腔半導體退火爐,RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設備,可兼容6-8英寸晶圓Wafer。

全自動雙腔半導體退火爐產品優勢:

全自動雙腔設計,有效提升產能;

溫度可達1250℃,具有超高溫場均勻性;

具備穩定的溫度重現性;

能夠滿足SIC量產化制程需求。





晟鼎是一家集研發與設計、生產、銷售及產業鏈服務為一體的企業。致力于提供表面性能處理及檢測整體解決方案。



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