半導(dǎo)體用電子級(jí)純酸提純裝置硝酸純化系統(tǒng)

酸純化器：又稱酸純化系統(tǒng)，高純酸提純器，酸試劑提純器，高純酸蒸餾純化器等，實(shí)驗(yàn)室工作中常常由于酸的純度較差，造成分析結(jié)果的偏差與錯(cuò)誤。市售的超純酸往往由于較貴，很難滿足日常分析中對(duì)酸的大量需求。因此，提純優(yōu)化酸的質(zhì)量，是為經(jīng)濟(jì)可行的途徑，我廠的酸純化器可用于實(shí)驗(yàn)室如HNO3、HCl、HF、堿溶液和有機(jī)溶劑的純化，純化后的酸和Merck的一樣好，實(shí)驗(yàn)后期可配套我單位Teflon特氟龍系列試劑瓶收取高純酸。

二、工作原理：

酸純化器是利用熱輻射原理，保持液體溫度低于沸點(diǎn)溫度蒸發(fā)，再將其酸蒸氣冷凝從而制備高純水和高純?cè)噭瑧?yīng)用于樣品處理及分析實(shí)驗(yàn)中。

三、  產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、可以滿足ICP、ICP-MS低的檢測限需要及苛刻的分析應(yīng)用中提供實(shí)驗(yàn)室級(jí)超純酸，所用容器均采用Teflon無吸附塑料，可處理如HNO3、HCl、HF等實(shí)驗(yàn)室的常用酸。

2、實(shí)驗(yàn)證明將金屬雜質(zhì)含量約10ppb的酸經(jīng)過一次蒸餾后，金屬雜質(zhì)含量可以降低到0.01ppb左右。若對(duì)酸要求更高，可增加提純次數(shù)。

半導(dǎo)體用電子級(jí)純酸提純裝置硝酸純化系統(tǒng)

四、使用注意事項(xiàng)：

1、所有配件（控制器、電源線、加熱片等除外）放入按實(shí)驗(yàn)要求一定濃度的酸液中浸泡，去除雜質(zhì)。

2、加酸前必須做好個(gè)人防護(hù)如：防濺眼鏡、防酸手套等（蒸水除外）。

【電子級(jí)酸】：

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用產(chǎn)品的清洗和蝕刻以及痕量金屬元素殘留分析，根據(jù)質(zhì)控的金屬元素含量的數(shù)量和含量，劃分為4個(gè)級(jí)別：MOS級(jí)，VLSI級(jí)，ULSI級(jí)，SLSI級(jí)

MOS級(jí)（EL級(jí)）：控制十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在100PPb左右

VLSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10~100PPb

ULSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10PPb以下

SLSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在1PPB以下

所謂的電子級(jí)酸，其實(shí)就是ppb或者ppt級(jí)的高純酸。