薄膜測量系統-光學儀器
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- 公司名稱 上海涉科光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/8/24 15:11:31
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產業,能源,電子,綜合 |
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介紹
薄膜測量系統TF-168采用非接觸式光學方式，測量多層光學薄膜/鍍層的厚度、折射率系數和吸收系數。
應用
光學器件上的介電鍍層，鍍膜的光學濾光片，晶圓上的半導體，液晶器件，多層聚合物薄膜
薄膜層如：SiO2, CaF2, MgF2, Photoresist, Polysilicon, Amorphous Silicon, SiNx, TiO2, Sol-Gel, Polyimide, Polymer
基底材料如：Silicon, Germanium, GaAs, ZnS, ZnSe, Acrylic, Sapphire, Glasses, Polycarbonate, Polymer, Quartz.
規格參數
測量范圍 | 20 nm-50 µm (只測厚), 100 nm - 10 µm (厚度 及 n & k) |
可測層數 | 多達4層 |
光斑大小 | 0.8 mm - 4 mm可調 |
樣品大小 | >=1 mm |
厚度準確度 | ± 1 nm 或 ±0.5% |
重復精度 | 0.1 nm |
平臺大小 | 7" x 7" （178 mm x 178 mm） |
系統大小 | 8" x 9.5" x 14" |
系統包含如下：
*鹵鎢燈(360-2500 nm)，SMA905接口
*USB微型光譜儀(350-1000 nm) ，SMA905接口
*硅片反射標準樣品
特點：
*桌面式集成一體化系統
*鹵鎢燈、USB微型光譜儀可通過光纖單獨接出來使用，用于其他光譜實驗
*基底折射率和吸收系數
*薄膜厚度測量，平均值和方差
*薄膜折射率和吸收系數
*自由選擇計算的波長范圍
*自由選擇預詁厚度范圍以減少計算時間
*方便從包含的數據庫中選擇薄膜和基底材料
*客戶自定義材料的選擇和導入
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