RIE-10NR 日本SAMCO RIE等離子蝕刻設備

參考價	￥10000000-￥20000000/件

具體成交價以合同協議為準

公司名稱 似空科學儀器（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號RIE-10NR
所在地上海市
廠商性質代理商
更新時間2023/8/11 13:38:30
訪問次數 1285

產品標簽

等離子刻蝕機 8寸晶圓蝕刻刻蝕系統

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似空科學儀器（上海）有限公司是一家儀器設備的經銷商。我們致力于為中國制造業和研發機構提供高精度、符合人體工學設計的儀器設備。我們也夢想有朝一日，能夠充分掌握市場需求，深刻理解儀器設備的技術原理，聚集一批有激情、有理想、有技術的人，為中國的制造業升級以及中國科研走向世界，提供自有知識產權的先進儀器設備！
儀器設備發展的是探測手段和傳感器不對被測目標產生任何干擾，企業管理的是一切以市場為核心，不以自我的意愿抗拒市場的趨勢，代替客戶的喜好，于是我們取名“似空”，希望以忘我的精神服務客戶。

展開

失效分析，芯片開封，表面觀測，金相研磨，光學及視頻顯微鏡，超聲波檢測，X射線檢測，激光微納加工等

詳細信息 在線詢價

晶圓尺寸	8英寸	尺寸	500 mm（寬）x 920 mm（深）x 1501 mm（高）
反應室尺寸	φ340mm

反應離子刻蝕機

SAMCO RIE-10NR



簡介： RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動反應離子刻蝕系統，能夠滿足非腐蝕性氣體化學最KE刻的工藝要求。計算機化觸摸屏為工藝配方編程和存儲提供了用戶友好的界面。該系統可以實現精確的側壁輪廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。憑借其圓滑、緊湊的設計， RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。應用: 硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。

主要功能和優點：

1、加工至?220 mm（?3“x 5，?4”x 3，?8”x 1）。

2、高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作。

3、自動壓力控制，允許獨立于氣流干泵和系統布局的過程壓力精確控制，便于維護。

4、于Windows的用戶界面，豐富的配方和內置的數據記錄功能，是一個可靠和持久的系統，全球安裝了400多個系統。

主要參數規格：
基板	220 mm（?3“x 5，?4”x 3，?8”x 1）
負載	開放式
上下電極	?240 mm
射頻功率	300瓦@13.56兆赫，自動匹配（500瓦為選項）可切換射頻供電電極（陽極/陰極模式）為選項
氣體管道	內部2條MFC控制的氣體管道（最多6條）
泵	干泵（500升/分鐘）
操作系統	觸摸屏操作（可選擇基于Windows的用戶界面）、配方管理
端點檢測	光學發射光譜（OES）作為一種選擇
尺寸	500 mm（寬）x 920 mm（深）x 1501 mm（高）