關鍵詞：快速退火爐 真空快速退火爐

武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年，是一家技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐研發、市場和技術服務于一體的真空快速退火爐廠家。 

本公司生產銷售的真空快速退火爐覆蓋1-12吋樣品測試，分為科研與產線兩種應用場景類型共8款機型。

RTP-3-08系列自立式8吋真空快速退火爐采用紅外輻射加熱技術，可實現大尺寸樣品(8英寸)快速升溫和降溫，可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等半導體工藝。 

真空快速退火爐產品特點：

快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s，特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率，特定條件下可達30 ℃/s。

 精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫，目標溫度與設定溫度曲線一致性高，可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣、氬氣等）。同時，通過選配真空泵，可以在真空條件下進行退火，真空度可達10^-3Pa。

 配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時，可以結合相關測試方法進行原位測試分析。

 超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統，多方位保障儀器使用安全。

真空快速退火爐廠家：擁有自主研發技術和制造能力，能快速反應客戶售后需求。

真空快速退火爐技術參數：

真空快速退火爐廠家 服務的客戶：

公司的快速退火爐服務于的大學有：清華大學、復旦大學、南京大學、浙江大學等大學；

服務的重要科研院所：中科院微電子所、半導體所、微系統所、綿陽九院等；

服務的半導體企業有：華為海思、三安光電、敏而精密、澤達等等頭部半導體企業等等。