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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>掩模版和中間掩模版制造設(shè)備>掩模光刻膠處理及清洗設(shè)備>VGB3/3plus CIF手套箱專用等離子清洗機(jī)

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VGB3/3plus CIF手套箱專用等離子清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

等離子清洗機(jī)清洗機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、CIF手套箱專用等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品簡介

CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設(shè)備,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便,性能穩(wěn)定,實(shí)用性強(qiáng),容易維護(hù)。  

二、CIF手套箱專用等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

2. PLC工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

3. 真空倉體,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

4. 自動匹配器,功率無極可調(diào)。

5. 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì),雙路氣體控制氣體流量,可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合氣等氣體,氣體分配均勻,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。

6. HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

7. 弧形等離子激發(fā)板,等離子激發(fā)能力更強(qiáng)。

8. 分體式設(shè)計(jì),便于手套箱內(nèi)使用。

9. 安全保護(hù),倉門打開,自動關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號

VGB3

VGB3Plus

艙體尺寸

D178xΦ150mm

D178xΦ150mm

艙體容積

3L

3L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

射頻功率

10-300W可調(diào)

10-150W可調(diào)

氣體控制

雙浮子流量計(jì)(標(biāo)配)

有效處理尺寸

L200xW155mm

時間設(shè)定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

AC220V 50-60Hz







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