德國SPS(POLOS)勻膠機儀器POLOS SPIN4000A

產品說明
我們產品組合中的新產品是POLOS SPIN4000A。這種強大的旋轉涂布機系統是專為研究和所有應用的可變過程。它的特點是能夠全自動操作。POLOS SPIN4000A代表了下一代全場旋涂系統。

POLOS SPIN4000A是一款獨立的全自動旋涂系統。鋼制外殼保證了無污染的工作區域，其組件確保了可重復、可編程的旋轉過程，可反復旋轉高達300 x 300mm毫米的基板。

特征

多達3個噴嘴的自動光刻膠分配器(可選)
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋(可選)

可定制，全自動操作
無污染工作區
組件
多達3個噴嘴的自動光刻膠分配器(可選)

產品編號
自旋4000
材料
鋼制外殼
基板尺寸
300毫米或8英寸x 8英寸正方形基板
模型
獨立的
系統類型
自動化系列

德國SPS(POLOS)勻膠機儀器POLOS SPIN4000A