一、產品概述：

半導體參數測試儀是一種專門用于測量和分析半導體器件電氣特性的測試設備。該儀器能夠評估器件的電流-電壓（I-V）特性、容量、泄漏電流和其他關鍵參數，廣泛應用于半導體制造和研發領域。

二、設備用途/原理：

·設備用途

半導體參數測試儀主要用于測試各種半導體器件，如二極管、晶體管和集成電路。工程師可以利用該儀器進行器件特性分析、故障排查和性能評估，以確保半導體產品的質量和可靠性。

·工作原理

半導體參數測試儀通過施加已知的電壓并測量相應的電流來工作。儀器內部使用高精度的模數轉換器（ADC）和數字信號處理技術，實時記錄和分析I-V曲線。用戶可以設置不同的測試條件，如掃頻、階梯測試等，生成詳細的測試報告，幫助用戶深入了解器件的電氣特性和性能表現。

三、主要技術指標：

1. 配備集成電腦及顯示屏一體機箱，包含高精度電流測量模塊、電容測量模塊、超快脈沖模塊，配合用數據測量分析軟件，無需外接其他儀表即可實現I-V曲線，I-t曲線，C-V曲線及C-f曲線的測量并能在屏幕實時顯示測量結果

2. 電流測量精度≤0.1 fA，小可測量電流≤20 fA

3. 大電流測量量程≥0.1 A，大輸出功率≥2 W

4. 電流測量精度10 fA時，電流表的短采樣時間間隔100 μs

5. I-V特性測試及C-V特性測試切換時，無須更改電路

6. 實現不同頻率交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t） 的測量，頻率范圍1 kHz-5 MHz，小頻率步進≤1 mHz

7. 電容測量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）

8. 電容測量范圍5 fF-1 nF，電壓0至±25V，步進≤1 mV

9. 具有脈沖輸出及采集模塊，脈沖輸出電壓峰值10 V

10. 脈沖采樣大采樣率≥200 MSa/s，小采樣時間5 ns

11. 具有瞬態波形捕獲模式

12. 具有任意波形發生器，支持多電平脈沖波形，可編程分辨率10 ns