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customized 激光退火設(shè)備

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

半導(dǎo)體激光退火機是用于半導(dǎo)體制造過程中的一種設(shè)備。退火是一種熱處理過程,通過加熱半導(dǎo)體材料來改變其性質(zhì),以實現(xiàn)所需的特性,如電導(dǎo)率、晶體結(jié)構(gòu)和應(yīng)力緩解。半導(dǎo)體激光退火機利用高能激光束來對半導(dǎo)體基片進行精確和控制的加熱和修改。可定制,如有需求請聯(lián)系。

2. 設(shè)備特點

應(yīng)用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火,形成良好的歐姆接觸

加工尺寸:4inch、6inch

加工速度:1000mm/s

加工精度:±1μm平臺參數(shù):行程300mm×300mm

重復(fù)定位精度:±0.001mm

激光器參數(shù):紫外

稼動率:98%以上

重大故障間隙時間:>1000H

良率:≥99.5%

相關(guān)分類

氧化擴散設(shè)備


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