Lasertec已將OPTELICS AI 2商業化，這是一種新型共聚焦顯微鏡自動檢查/檢查系統，集成了高速自動缺陷檢查功能、缺陷映射功能和高倍率形狀檢查功能。

特征

• 從自動缺陷檢查到各種材料的半導體晶圓的高倍率檢查和形狀測量，一個單元即可處理所有事務。活躍于從研發到量產的各個階段

• 高速檢測：亞微米級靈敏度可在 15 分鐘內完成 3 英寸晶圓的全面檢測

• 高倍率回顧：通過切換物鏡可以進行高倍率 3D 形狀測量

• 通過深度學習實現高精度的圖像分類。可以進行圖案板檢查和特定缺陷類型的檢查

• 即使對于化合物半導體和薄膜等透明樣品，也可以在不受背反射影響的情況下進行檢查、高倍率檢查和形狀測量。

• 由于 Lasertec 提供從硬件到軟件的完整系統，因此可以根據客戶的要求定制和支持整個系統。

用法

• 各種材質半導體晶圓的高速自動缺陷檢測

• 缺陷審查

• 缺陷形狀測量

• 每個制造過程中的缺陷跟蹤