產品描述

納米壓痕儀 NanoFlip 提供高精度XYZ位移，可定位樣品進行測試，還提供翻轉機制，可定位樣品進行成像。InView軟件附帶一套測試方法，涵蓋一系列測試協議，并允許用戶創建自己的新穎測試方法。InForce50驅動器在真空和常壓條件下表現同樣出色。InView軟件可以記錄SEM或其他顯微鏡圖像，并與機械測試數據進行同步。創新的FIB-to-Test技術允許樣品傾斜90°，無需移除樣品即可實現從FIB到壓痕測試的無縫過渡。

主要功能

• InForce 50驅動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭

• InQuest高速控制器電子設備，具有100kHz數據采集速率和20μs時間常數

• 用于樣本定位的XYZ移動系統

• SEM視頻捕獲，可以將SEM圖像和測試數據進行同步

• 軟件集成壓頭校準系統，可實現快速，準確的壓頭校準

• 與Windows®10兼容的InView控制和數據查看軟件以及協助用戶設計實驗的方法開發功能

主要應用

• 硬度和模量測量（Oliver-Pharr）

• 連續剛度測量

• 高速材料性質分布圖

• ISO 14577硬度測試

• 聚合物的納米動態力學分析（DMA）

• 定量刮擦和磨損測試

工業應用

• 大學、研究實驗室和研究所

• 支柱和微球制造

• MEMS（微機電系統）

• 材料制造（結構壓縮/拉伸/斷裂測試）

• 電池和元件制造

硬度和模量測量（Oliver-Pharr）

納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對這些特性的高速評估保證了在生產線上進行質量控制。

連續剛度測量 （CSM）

連續剛度測量用于量化動態材料特性，例如應變率和頻率引起的影響。 NanoFlip納米壓痕儀提供0.1Hz至1kHz的動態激發，采用隨時間變化進行監測以準確確定初始表面接觸，并根據深度或頻率持續對接觸剛度進行測量。

材料特性分部

對于包括復合材料在內的許多材料，其機械性能可能因部位而異。NanoFlip的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動21mm，并在Z軸方向移動25mm，這使得該系統適用于不同的樣品高度并可以在樣品區域上進行測量。可選的NanoBlitz形貌和斷層成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。

ISO 14577硬度測試

NanoFlip 納米壓痕儀 包括預先編寫的ISO 14577測試方法，可用于測量符合ISO 14577標準的材料硬度。該測試方法自動測量并報告楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕。

納米動態力學分析（DMA）

聚合物是非常復雜的材料。為了獲取決定聚合物設計的有用信息，需要對相關樣品在相關的條件下進行機械性能測量。納米壓痕測試幫助這種特定相關的測量易于進行，因為只需要制備很小或很少量的樣品。還可以通過在與材料接觸時振蕩壓頭來測量聚合物的復數模量和粘彈性。

定量劃痕和磨損測試

可以對各種材料進行刮擦和磨損測試。涂層和薄膜會經過化學機械拋光（CMP）和引線鍵合等多道工藝，考驗薄膜的強度及其與基板的粘合性。重要的是這些材料在這些工藝中抵制塑性變形，并且保持原樣而不會基板起泡。