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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 品牌 | 甲岸 |
實驗室小型真空等離子表面處理機
優(yōu)點
實驗室小型真空等離子表面處理機
Plasma等離子清洗機一般包括真空系統(tǒng),電源系統(tǒng),供氣系統(tǒng)和清洗室,清洗室內(nèi)安裝有電極架,可以將射頻電極,地極按照交替的方式組合放置,以適應(yīng)不同的清洗場合。
清洗時首先運行真空泵對真空室進行抽氣,當(dāng)真空室達到一定真空度后,由充氣閥充入一定氣壓工藝氣體,調(diào)節(jié)氣體流量,使得真空室內(nèi)的真空度保持在30Pa左右,然后給放電電極通入射頻電源,當(dāng)調(diào)節(jié)電源的輸出功率到合適時,透過玻璃觀察窗，可以觀察到真空腔體中有輝光現(xiàn)象產(chǎn)生,證明產(chǎn)生了等離子體。
等離子清洗機的機理:
主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
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