G300C 質量流量控制器特點 

? 高精度、高分辨率控制 

? 低功率，功率＜2W 

? 集成 20 種基礎氣體種類 

? 可自定義 10 種混合氣體

? 控制參數自整定功能 

? 數字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍 

? 無需預熱

? 無安裝方向限制 

? 具有高重復性和高可靠性 

? 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快 

? 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃ 

? 內部閉環控制，具有高穩定性

? 小封裝尺寸 量程及精度簡介 

? 可用量程： 

? 最大 0-50slpm 

? 最小 0-1sccm 

? 常備量程請參考選型表 

? 量程比：1000:1 

? 滿量程精度：±0.2% 

? 讀取精度：±0.8% 

? 可重復性：±0.2%FS

? 響應時間：＜100ms（調節 PID 控制參數可縮 短響應時間） 

數字式設計簡介 G300C 系列質量流量控制器標配高精度傳 感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所 需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高 可擴展至 255 臺設備同時使用。 

應用領域 

? 氣相和液相色譜儀 

? 半導體工藝 

? 環境監測設備 

? 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD） 

? 氣體發生器

? 配氣混氣系統