特點

• 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

• 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

• 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

• 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。真空泵用油SMR為了在寒冷時也能發(fā)揮好的起動性能粘度較低。
  為了發(fā)揮出泵的性能，請盡量頻繁地對油進(jìn)行更換。

• 結(jié)構(gòu)緊湊，排氣量大。

• 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。

• 內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計。

• 大氣壓下可運作。

• 全壓力范圍可連續(xù)運作。

• 結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。

• 真空吸盤，真空鑷子。

• 自動設(shè)備上的吸附和轉(zhuǎn)移。

• 真空包裝印刷機(jī)。

• 貼片機(jī)。

如果在負(fù)載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。
在這種情況下，將泵內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。

2　請不要吸入腐蝕性氣體，有機(jī)溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請確保污垢和灰塵不會進(jìn)入泵內(nèi)部。

3　泵的滑動材料會在運行過程中磨損，產(chǎn)生磨損粉末。
此外，所使用的滑動材料對抗水性較弱，因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。

4　僅供室內(nèi)使用。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。

5　將泵固定在設(shè)備等上時，請務(wù)必安裝防振橡膠。
防振橡膠的安裝螺釘尺寸為M5 x P0.8。
另外，安裝在泵側(cè)的防振橡膠螺釘?shù)拈L度不應(yīng)超過10毫米。