特點

• 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

用途

• 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

• 真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

• 醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。真空泵用油SMR為了在寒冷時也能發揮好的起動性能粘度較低。
  為了發揮出泵的性能，請盡量頻繁地對油進行更換。

• 結構緊湊，排氣量大。

• 氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。

• 內置自動復位型熱保護器等安全設計。

• 大氣壓下可運作。

• 全壓力范圍可連續運作。

• 結構簡單，維護方便。

• 真空吸盤，真空鑷子。

• 自動設備上的吸附和轉移。

• 真空包裝印刷機。

• 貼片機。

如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。
在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓。

2　請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。

3　泵的滑動材料會在運行過程中磨損，產生磨損粉末。
此外，所使用的滑動材料對抗水性較弱，因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。

4　僅供室內使用。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。

5　將泵固定在設備等上時，請務必安裝防振橡膠。
防振橡膠的安裝螺釘尺寸為M5 x P0.8。
另外，安裝在泵側的防振橡膠螺釘的長度不應超過10毫米。