SE-VF 光譜橢偏儀
- 公司名稱(chēng) 武漢頤光科技有限公司
- 品牌 頤光科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)金融港四路10號(hào)6號(hào)樓(自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū))
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/4/3 11:11:36
- 訪問(wèn)次數(shù) 2294
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
一、概述
SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專(zhuān)用型光譜橢偏儀,其采用 1 超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù), 2 定制超快測(cè)量速度等技術(shù)。可應(yīng)用透明各類(lèi)襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。
二、特色功能
■ 可定制光斑尺寸,最小可達(dá)30um;
■ 超快測(cè)量,單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒 ;
■ 系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計(jì);
■ 結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線(xiàn)集成測(cè)量。
三、測(cè)量實(shí)例
微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量
四、應(yīng)用場(chǎng)景
應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測(cè)量,適用于各類(lèi)光學(xué)薄膜等鍍膜檢測(cè)應(yīng)用。