RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機(jī)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 RTEC
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 14:46:20
- 訪問次數(shù) 2639
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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高階軟件分析功能
全套的分析功能:
- 2D形貌、3D形貌、二進(jìn)制圖像、顯微圖像、等高線圖像。
- 提取區(qū)域、提取剖面、抽取邊界輪廓、將一個(gè)表面轉(zhuǎn)換為一個(gè)剖面系列、重新取樣、基準(zhǔn)面校平。
- 表面紋理與形狀參數(shù)如各種標(biāo)準(zhǔn)的面粗糙度、線粗糙度、距離&角度測(cè)量、臺(tái)階高度、面面角度差、方向&斜率。
- 圖形&紋理單元的檢測(cè)分析、顆粒&凸起&凹洞&空隙等特征統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)、分形分析、孔/磨痕的體積、波谷深度、紋 理方向、體積參數(shù)、切片分析。
- 可創(chuàng)建分析模板,只需導(dǎo)入數(shù)據(jù)文件,自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告。
- 滿足ISO 25178、ISO 4287、ASME B46.1、EUR 15178、ISO 16610-61、ISO 16610-62、ISO 16610-71等。
半導(dǎo)體方向的應(yīng)用-晶圓/芯片,MEMS,Mask,PCB,Microlens,絕緣層等
① 各種減薄、研磨、拋光之后的表面粗糙度、表面三維形貌、加工紋理、瑕疵的檢測(cè)
② 晶圓IC制造過程中各種微納結(jié)構(gòu)的三維形貌、臺(tái)階高度等三維尺寸、制造缺陷的檢測(cè)、以及光罩上的異物和瑕疵檢測(cè)
③ 薄膜的厚度、表面粗糙度及缺陷的測(cè)量
④ 表面機(jī)械損傷、表面冗余物的檢測(cè)