PLUTO-160 等離子體表面處理儀/清洗機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海沛沅儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 PLUTOVAC
- 型號(hào) PLUTO-160
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/17 16:13:43
- 訪問次數(shù) 2287
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 功率 | 1000W |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 30萬-50萬 | 控制方式 | 自動(dòng) |
氣路 | 2 | 射頻頻率 | 13.56MHzGhz |
樣品腔材質(zhì) | 不銹鋼 | 樣品腔尺寸 | 51.8*51.8*64.8cm |
樣品腔容積 | 170L | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥,綜合 |
PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
• 13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性
• 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性
• PLC與工控機(jī)提供穩(wěn)定的過程控制,設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時(shí)參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)
• 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,易于保養(yǎng)與維護(hù)
標(biāo)準(zhǔn)腔體電極為平行板電極結(jié)構(gòu),通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
最多支持?jǐn)U展至8片電極
每對(duì)電極間為獨(dú)立空間
批處理電極改變了標(biāo)準(zhǔn)的平行板電極結(jié)構(gòu)
通過優(yōu)化的電場(chǎng)和進(jìn)氣設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)對(duì)magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。
PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機(jī)應(yīng)用:
• 表面清潔與活化
• 表面有機(jī)污染物與金屬氧化物的去除
• 增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性,消除涂層分層
• 提升表面能,實(shí)現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合
• 表面粗化及微刻蝕
• 納米級(jí)表面粗化,應(yīng)力釋放
• 光刻膠、殘膠的去除
• 對(duì)多種材料的選擇性刻蝕