晶圓激光切割機

產品特點：

劃片速度快，效率高，成片率高，切割速度150mm/s

?非接觸式加工，無機械應力，適合切脆性易碎硅晶圓

?CCD快速定位功能，實時同軸監視或旁軸監視功能

?高精度二維直線運動平臺，高精度D D旋轉平臺

?大理石基臺，穩定可靠，熱變形小

?專業操控系統

?全中文操作界面，操作直觀、簡易，界面良好

?無需砂輪刀、藍膜、去離子水等耗材

?高可靠性和穩定性

?劃片質量高，玻璃鈍化層無崩裂和微裂紋。

晶圓激光切割機

應用領域：

廣泛應用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及T VS晶圓的劃線切割。

產品參數：

設備型號             SA-IR20W               SA-UV15W

激光波長              1064nm                355nm

激光功率              20w/30w              5w/10w/17w

加工晶圓尺寸               3-5寸                   4寸

劃線速度              150mm/s                  70mm/s

劃線線寬              35~45μm               20~30μm

劃線線深       < 120μm（視材料而定）              50-100μm

系統定位精度               5μm                 5μm

重復定位精度               2μm                 2μm

激光器使用壽命10 萬小時                              1.2 萬小時

設備尺寸         1350*800*1700mm  1350*800*1700mm

整機重量           680kg                      680kg