真空泵組

 進口品牌無油干泵+分子泵組

泵組抽速

 >0.7 m3/h隔膜泵+60 L/S 分子泵

極限真空

 <10E-3 Pa

工作氣壓

 0.5-2 Pa

抽空時間

 <5 Min

真空測量

測量范圍大氣壓到10E-3 Pa，進口品牌真空計

氣體控制

 MFC氣體質量流量控制器（50 SCCM Ar）

腔室尺寸

 ~? 150 *110 mm 耐劃傷石英玻璃

標配全鋁腔體自動旋轉偏轉樣品臺

磁控靶源

 靶材尺寸 ? 50 *0.1-3 mm （建議厚度>0.2 mm）/ 帶手動擋板

 可濺射貴金屬Au/Pt等，也可濺射Cr、W、Ag等常規金屬（通Ar氣）

濺射電源

 恒功率磁控DC濺射電源 Max. 30W ，Max. 100 mA

濺射時間

 可程序設定

操作方式

觸摸屏控制

重量尺寸

~30 Kg / 500 mm寬*400 mm深*470 mm高

輸入電源

 110-220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭

輸入功耗

 <500 W

冷卻方式

 風冷

質量保證

 一年免費/終身維護

備注

 以上所列技術規格與參數更新恕不另行通知，如有疑問請聯系我們