倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計

Gemini MPG55x / MAG55x

INFICON Gemini™倒置磁控管真空計是所有真空測量應用的動力源泉。Gemini MPG50x將兩項傳感器技術整合在一個小裝置中，測量范圍從大氣壓至1 × 10^-9毫巴；而 Gemini MAG50x是一個純冷陰極傳感器系統(不含皮拉尼元件)，測量范圍從1 × 10^-2毫巴至1 × 10^-9毫巴。獲得的超低雜散磁場設計為全新的應用領域開啟了大門。可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護，使Gemini成為同類產品中極其堅固耐用的經濟型真空計。

MAG和MPG Gemini現在提供EtherCAT現場總線和設定點MAG55x和MPG55x。

對于腐蝕性應用，我們建議使用陶瓷涂層版本MxG5x4。傳感頭內部的饋入裝置和皮拉尼采用全陶瓷涂層，增強了耐腐蝕性。

優勢

• 在惡劣環境下，使用壽命長

• 可靠的快速點火

• 低雜散磁場

• 可選測量電流

• 快速維護 — 可更換電離室

• 耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件

• EtherCAT和RS232/RS485數字接口

• 緊湊尺寸，易于集成

• 2個繼電器設定點(MxG55x)

應用范圍

• 基礎壓力監測和控制，在蒸發和濺射鍍膜應用中，測量范圍從大氣壓到高真空。

• 一般真空測量 — 工業爐、建筑玻璃、半導體、生產實驗室。

• 分析和研發應用 — 質譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學、醫療和高能物理。