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化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>其它測厚儀 >FPEH-MX10x 晶圓厚度變化測量儀

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FPEH-MX10x 晶圓厚度變化測量儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
  • 品牌 孚光精儀
  • 型號 FPEH-MX10x
  • 產地 www.felles.cn/qiaoqudu.html
  • 廠商性質 經銷商
  • 更新時間 2024/9/11 12:04:11
  • 訪問次數 1575

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聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等光子技術分析測試儀器的規模性進口商和代理商,服務商。
孚光精儀公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供*分析測試儀器產品,促進光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產商群體,和快捷高效的貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學

經驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統,TIRFM顯微鏡系統, 鈣成像顯微鏡系統,熒光壽命成像系統,生物發光和熒光發光成像系統等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發光和熒光發光成像系統等)

醫用

光學儀器(內窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統 (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)

服務和應用領域

生物光子學

生命科學

醫學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發動機研發

航空航天

地球物理科學

地質和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術

-------


客戶群體
     
高等院校

*系統研究院所

中國國有企業及其研究院所

外資企業


高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿區和天津自貿區具有倉庫,在香港設立貿易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優勢國家和地區。
公司受益于香港便捷的貿易條件以及上海自貿區和天津自貿區的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(天津)貿易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關,進出口等高貿易資質,為客戶提供優質而專業的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關服務,并送貨到用戶地址。

 

外方經理定期來華辦公指導                                             工作園區一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質優價廉的產品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產品和服務供應商。國內的科研單位多次從我公司訂購各種產品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質結構研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


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飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

產地類別 進口 價格區間 20萬-50萬
應用領域 能源,電子,綜合

高分辨率晶圓厚度和厚度變化測量儀MX10x系列是德國測量硅片厚度和TTV厚度變化的儀器。它的分辨率高達10nm,可以在幾秒鐘內適應不同的厚度范圍。在開始掃描晶圓之前,通過標準厚度量塊自動重新校準。一對電容傳感器對每個晶片上的四個徑向輪廓(45度)進行采樣。
高分辨率晶圓厚度和厚度變化測量儀應用
晶圓研發,晶圓工藝鑒定,晶圓過程控制,晶圓厚度測量,晶圓TTV總厚度變化、
高分辨率晶圓厚度和厚度變化測量儀MX 10x規格

訂購代碼晶圓直徑 [mm]厚度變化TTV范圍厚度分辨率空間分辨率重復精度TTV精度
MX 102-6100, 125, 150
(4''-6'')
350,450,550,
650µm+/-50µm
10nm1mm+/-20nm
(2sigma)
+/-50nm
MX 102-8150, 200
(6''-8'')
500,600,700,
800µm,+/-50µm
10nm1mm+/-20nm
(2sigma)
+/-50nm
MX 1012200, 300




MX 1018300, 450




MX 102-6是一種測量中心厚度和晶圓厚度的晶圓測厚儀器,可測量100mm, 125mm和150mm直徑硅片晶圓的厚度變化,厚度分辨率高達10納米,可以在幾秒鐘內適應不同的厚度范圍,可以處理300µm到700µm的總厚度范圍。
MX 102-8是用于150 mm和200 mm晶圓的晶圓測厚儀器。在開始掃描晶圓之前,這款晶圓測厚儀通過以下方式自動重新校準,使用標準測厚塊,一對電容傳感器
每個晶圓上有四個徑向輪廓。其中一個剖面由200個局部厚度組成值,并相對于相鄰輪廓偏移45度。
晶圓厚度變化測量儀
在測量過程中,晶圓放在四根柱子的頂部,這四根柱子是安裝在移動臺和可旋轉圓桌上。晶片可以被帶進這個手動或通過機器人定位。它由一組帶有錐形端。這些會自動調整到所選的晶圓直徑。真空夾持晶片的卡盤墊由Delrin制成,通常經過研磨,為了提供精確的靜止平面.計算機發出啟動命令后,真空吸盤被激活。根據選定的厚度范圍,重新測量已知厚度四個量塊之一的厚度產生,即總距離在兩個相互面對的電容傳感器之間。然后是微處理器受控步進電機將晶片徑向插入兩個晶片之間的氣隙
傳感器。在第一個測量位置,14位DAC測量晶片厚度,并補償待測量的電子厚度信號這樣,快速ADC只需對與之相關的信號變化進行采樣參考點。這是連續進行的,不會停止晶圓的運動。之后傳感器對返回原點位置后,最終測量量塊再一次這個值和第一個值之間的變化可以用來判斷總體情況.



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