PICOSUN™P-1000
- 公司名稱 上海磊微科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2022/10/22 12:21:45
- 訪問次數(shù) 655
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | TOF |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源 |
PICOSUN™P-1000系統(tǒng)專門對(duì)于3D結(jié)構(gòu)物體 進(jìn)行批量涂層加工,例如: 機(jī)械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫(yī)療植入器械。主要的應(yīng)用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋 層, 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創(chuàng)新 的設(shè)計(jì)使得PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)在具 有制備高均一性的高質(zhì)量ALD薄膜的同時(shí)能 夠有很高的產(chǎn)量, 并且是市場(chǎng)上保養(yǎng)、維護(hù)時(shí) 間低,購置成本最小的ALD系統(tǒng)。這些都已 經(jīng)在實(shí)際生產(chǎn)中得到證實(shí)。
可靠、快速且易于維護(hù)的PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)代表了工業(yè)化ALD工藝水平!
PICOSUN™P-1000襯底尺寸和類型
• 大小不等的3D結(jié)構(gòu)物件(例如: 機(jī)械零件、 玻 璃或金屬片、 硬幣、 珠寶以及醫(yī)療植入物等)
工藝溫度
• 50 – 400°C
標(biāo)準(zhǔn)工藝
• Al2O3, ZnO, TiO2
基片裝載
• 通過裝載工具進(jìn)行手動(dòng)裝載(例如: 叉車)
前驅(qū)體
• 液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
• 源瓶余量傳感器,提供清洗和裝源服務(wù)
• 6根獨(dú)立源管線, 最多加載10個(gè)前驅(qū)體源