PICOSUN™P-1200
- 公司名稱 上海磊微科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2022/10/22 12:20:31
- 訪問(wèn)次數(shù) 673
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | TOF |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源 |
PICOSUN™P-1200系統(tǒng)專門(mén)對(duì)批量的大 尺寸平面基底進(jìn)行低溫薄膜沉積, 應(yīng)用于有機(jī)光電、顯示器和OLED等領(lǐng)域。主要的應(yīng)用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋層, 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創(chuàng)新的設(shè)計(jì)使 得PICOSUN™ P-1200 ALD系統(tǒng)在具有制備高 均一性的高質(zhì)量ALD薄膜的同時(shí)能夠有很高 的產(chǎn)量, 并且是市場(chǎng)上保養(yǎng)、維護(hù)時(shí)間低, 購(gòu)置成本最小的ALD系統(tǒng)。這些都已經(jīng)在實(shí)際 生產(chǎn)中得到證實(shí)。
可靠、快速且易于維護(hù)的PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)代表了工業(yè)化ALD工藝水平!
PICOSUN™P-1200襯底尺寸和類型
• 400x 500 mm(厚度~1mm) 28片/批次 (10mm片間距)
• 370x 470 mm(厚度~1mm) 28片/批次 (10mm片間距)
• 柔性襯底的臥式批量加工
工藝溫度和產(chǎn)率
• 50 – 120°C
• 產(chǎn)量達(dá)到168片/24h (100nm Al2O3)
標(biāo)準(zhǔn)工藝
• 低溫沉積Al2O3等薄膜材料
基片裝載
• 半自動(dòng)裝卸
• 預(yù)真空室配備溫度控制器(25 - 80 °C),以達(dá) 到最大產(chǎn)量和低水分污染
前驅(qū)體
• 液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
• 源瓶余量傳感器,提供清洗和裝源服務(wù)
• 7根獨(dú)立源管線, 最多加載10個(gè)前驅(qū)體源