VPC-500F8 普樂斯半導體封裝等離子清洗機

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半導體等離子清洗機封裝等離子清洗機蘇州等離子清洗機等離子表面處理設備

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昆山普樂斯電子科技有限公司成立于2010年，是一家集等離子表面處理技術研發、制造、銷售和推廣于一體的高科技公司。作為一家專業的等離子表面處理應用技術方案公司，普樂斯PLAUX致力于整合等離子表面處理技術、自動化以及人工智能等各要素，注重客戶體驗與互動，積極參與*材料研發、加工和器件制造工藝的創新。

展開

等離子清洗機,等離子表面處理機

型號		VPC-500F8
控制系統	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
		PLC（標配）/PC（可選）
	操作系統	Windows 10
	觸摸屏	7寸
整機規格	尺寸	W1150×D1400×H1720mm
腔體	尺寸	W500×D636×H520mm
	材質	鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）
電極	結構尺寸	組合柜式， W458×D544×H425mm
	分隔數量	8個料盒
托架	材質	鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）
	形狀	平板式/滾輪式（可選）
真空計	皮拉尼式真空計	1個
流量計	MFC質量流量控制器	2個；Ar、N₂、H₂（可選）
真空泵	機械油式旋片泵	1套
發生器	中頻/射頻	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~1000W
額定功率	整機峰值功率	7KW
機臺供電	三相五線式	AC-380V
選購品	干式泵、雙級旋片真空泵+羅茨泵（泵組）、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件