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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>其它專用儀器>DM200-SE 全封閉顯影機

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DM200-SE 全封閉顯影機

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      江蘇雷博科學儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰，是一家初期以 高檔專業的實驗室儀器開發為目標的海歸創業企業。公司主營高檔實驗室儀器及半導體設備開發業務。公司技術 力量雄厚，人才濟濟，憑借雄厚的技術實力不斷進行新產品開發和創新實現， 在納米薄膜制備類儀器領域取得了顯著的市場地位。公司生產的高精度高可 靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術產品，是國內勻膠機全系列、多功能、定制 化服務的供應商。

      公司生產和銷售不同領域的高檔科研儀器和工業半導體設備：Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設備品牌，主要有勻膠機、顯影機、 烤膠機、提拉機、噴膠機、涂膜機、狹縫涂布機等相關產品；L EB O science®是我們的工業半導體設備品牌，主要有勻膠機、顯影機、蝕刻機、 去膠機、清洗機等獨立柜式機臺及工業全自動機臺。 公司產品被廣泛應用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光 電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及先進封裝等領域，具有核心技 術可靠、高性價比、定制化服務的競爭優勢。

 

勻膠機、顯影機、烤膠機、刻蝕機、清洗機

產地類別 國產 應用領域 化工,生物產業,能源,電氣,綜合
　　全封閉顯影機優勢
 
　　·全封閉式顯影，避免霧氣擴散到外部，污染環境。
 
　　·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。
 
　　·內腔鍍特氟龍，光滑，耐腐蝕，易清洗。
 
　　·內置真空過濾器，防止液體吸入真空泵。
 
　　·真空壓力可調，壓力值實時顯示。
 
　　·液體流量可調，回吸可調。
 
全封閉顯影機
全封閉顯影機參數
 
　　支持wafer尺寸：碎片至200mm(8"圓晶)
 
　　·轉速分辨率：±1 RPM
 
　　·旋涂速度：20-3000rpm(空載)
 
　　·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec(空載)
 
　　·工藝時間設定： 0-3,000sec/step，時間設置精度： 0.1sec
 
　　·該機型適用于標準3路顯影機(1路洗衣液，1路純水，1路氮氣)
 
　　·單步工藝及多步工藝可選，內置100組可編輯程序
 
　　·可根據客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
 
　　設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動，實現自動顯影和清洗作業。
 


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