MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是專為低流量，高臭氧濃度的如ALD等應用設計的。AX8560結合MKS的高濃度、超清潔臭氧產生技術，集成臭氧濃度監測，流量控制，以及所有獨立操作所需的儀表和調節器。該子系統結構緊湊，重量輕，可以獨立，機架安裝或集成到AX8555多通道臭氧輸送系統。

優秀的MKS臭氧發生器電池技術通過無聲放電將純氧轉化為臭氧，達到可用的高臭氧濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮氣，遠遠低于其他臭氧發生器所需的氮氣水平，因此最終產生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 規格

類型：臭氧氣體發生器

臭氧輸出：26~180g/hr

流速：0.5~5slm

原料氣：6級或是更好的氧氣；20~100ppm 5級或更好的氮氣

額定腔室壓力：10~45psig（0.7~3.1bar）

壓力：20~30psig

水冷溫度：17~23℃

水冷過濾：100微米

水冷水質：電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：0.95~6.65L/min

AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，5~12A MAX，50/60Hz

設備重量：40kg（88LB）

尺寸規格：482 * 429 * 267 mm