DM200-SE 全封閉式桌面顯影機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 江蘇雷博科學儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號 DM200-SE
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/16 18:07:18
- 訪問次數 4686
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,能源,電子 |
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產品尺寸 | 550mm (W) x600mm (D) x405mm (H) |
產品優勢
·全封閉式顯影,避免霧氣擴散到外部,污染環境。
·外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。
·內腔不銹鋼材質,鏡面拋光處理,光滑,耐腐蝕,易清洗。
·內置真空過濾器,防止液體吸入真空泵。
·真空壓力可調,壓力值實時顯示。
·液體流量可調,回吸可調。
產品參數
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圓晶)
·轉速分辨率:±1 RPM
·旋涂速度:20-3000rpm(空載)
·旋涂加速度:20-10,000rpm/sec(空載)
·工藝時間設定: 0-3,000sec/step,時間設置精度: 0.1sec
·該機型適用于標準3路顯影機(1路顯影液,1路純水,1路氮氣)
·單步工藝及多步工藝可選,內置100組可編輯程序
·可根據客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。