STRUERS司特爾TargetMaster元器件微拋光機

可見和隱藏目標的自動目標準備

TargetSystem 事實

• 微電子元件的靶材制備

• 自動可靠的目標準備

• 可見和隱藏目標的分析

• 大大縮短準備時間

• 不依賴操作員技能

• *重現性

• 無需昂貴的研磨膜

TargetSystem 設計用于微電子元件的目標制備和延遲。它是第一個允許對可見和隱藏目標（例如微孔和 BGA）進行實時對齊和測量的故障分析工具。系統精度非常出色 +/- 5.0 µm。

STRUERS司特爾TargetMaster元器件微拋光機

準備時間短

智能制備系統 (IPS) 根據實際樣品特性和研磨/拋光表面自動調整去除時間和速率。這意味著更少的測量和準備時間，降至不到 30 分鐘。

再現性

自動化流程使 TargetSystem 獨立于操作員技能，無論操作員如何，都能確保重現性。

低運營成本

TargetSystem 可以與任何 SiC 紙或任何其他耗材一起使用，并且不需要昂貴的研磨膜。

案例故事：博世工程中心 Cluj 如何提高 5 μm 內隱藏目標制備的精度。

TargetMaster
200 毫米微拋光機，用于自動目標制備。包括用于 30 mm 樣品和 200 mm MD-Disk 的可傾斜支架。

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