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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

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上海攸亦光電科技有限公司是一家專注于光譜技術和應用開發的科技企業,提供紫外,可見,近紅外,中紅外到太赫茲范圍的光電產品,包括光學元件,光學儀器,光譜儀,光學機械,成像系統,以及各種定制產品和服務。為科研院所和企業客戶提供專業的應用咨詢和產品解決方案。



光學元件、光學儀器、光纖器件、光學成像、光機械

價格區間 面議 應用領域 醫療衛生,環保,化工,電子
組件類別 光學元件

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

  • 將 EUV 與 NIR 激光源分開

  • 透射型熔融石英設計最大限度地延長組件使用壽命

  • 支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率,用于高諧波產生應用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設計,支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。 除了產生高次諧波外,這些反射鏡還可用于支持 EUV 應用的系統,例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實驗。

通用規格


尺寸容差 (mm):+0.0/-0.2直徑 (mm):50.80
厚度 (mm):5.08 ±0.1鍍膜:Dielectric Multilayer AR
基底:Fused Silica表面質量:20-10
平行度(弧分):<5面形計算 (RMS):<λ/10 @ 633nm


產品型號


波長范圍 (nm)產品編碼
10 - 25#18-279
20 - 40#18-280


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