日立大型掃描電鏡SU3900

在以納米技術和生物技術為主的產業領域里，從物質的微細結構到組成成分，SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應用。SEM用途日益擴大，但對于鋼鐵等工業材料和汽車零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺能對應的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀察時需要進行切割等加工。因此，對超大樣品不施以加工處理，便可直接觀察表面微細形貌和進行各種分析則成為重要的課題。　前代機型是僅僅通過CCD導航相機的單一彩色圖像尋找視野^*3。新機型則通過旋轉樣品臺，分別拍攝樣品各個部分，再將各個圖像拼接成1張大圖像，實現了大視野的相機導航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

通過自動光路調整和各種自動化功能，樣品設置完后立即可以開始觀察。關于圖像調整，自動功能執行時的等待時間比前代機型^*4縮短了三分之一以下

　　近年來為了實現各種材料的高功能化和高性能化，需要觀察并優化材料的微細結構。目前SEM的應用除了以往的研究開發以外，已擴展到質量和生產管理方面，使用頻率日益高漲。同時市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求，以進一步減輕操作人員的負擔。

　　此次發售的“SU3800”與“SU3900”，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900”，可選配 大直徑300mm ^*1、 大承重5kg樣品(比前代機型提高2.5倍^*2)的樣品臺，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

　　同時操作性能也得到了升級。樣品安裝完成后，通過自動光路調整及各種自動功能調整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實現了快速觀察。

　【主要特點】

　　(1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的 大樣品尺寸：“SU3800” 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應對 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。  “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標配可搭載 大直徑300mm樣品的樣品倉，可應對 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍^*2)的樣品

　　(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800”與“SU3900”的 大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP”導航功能，只需在導航畫面上觀察目標位置，即可移動視野

　　■安裝有“Multi Zigzag”系統，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

　　(3) 通過自動化功能提高操作性能

　　■通過自動光路調整和各種自動化功能，樣品設置完后立即可以開始觀察。關于圖像調整，自動功能執行時的等待時間比前代機型^*4縮短了三分之一以下

　用壽命到期所造成的中斷觀察。