NanoFlip SEM原位納米壓痕儀

NanoFlip In SEM/FIB

KLA InSEM 系列可以和各個SEM和FIB廠商的主流型號聯合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。

電磁力驅動載荷激發器

KLA 公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。

KLA InSEM 系列：超前的激發器的結構設計，*實現載荷和位移的分別控制和探測，實現納米壓痕檢測，包括動態力學測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

InForce50 載荷激發器 載荷激發器

• zui大加載載荷： 50mN

• 縱向載荷分辨率： 3nN

• 壓頭zui大移動范圍：45um

• 位移噪音背景:<0.01nm

• 位移數字分辨率：<0.002nm

InForce1000 載荷激發器 載荷激發器

• zui大加載載荷： 1000mN

• 縱向載荷分辨率： 6nN

• 壓頭zui大移動范圍：80um

• 噪音背景:<0.1nm

• 位移數字分辨率：<0.004nm

NanoFlip 的樣品臺處于“Up”狀態時，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進行微區定位，當樣品臺處于“Down”狀態時，SEM/FIB 又可以對整個力學實驗過程進行實時觀察并進行實時的視頻捕捉。

數據采集 數據采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )

業內響應時間zui快、數據采集率zui高的控制系統，實現材料瞬間變化的捕捉:

• 數據zui高采集率：100kHz

• 控制器時間常數：20us

高精度的納米馬達臺

• X 向zui大行程：20 mm

• Y 向zui大行程：20 mm

• Z 向zui大行程：25 mm

• Encoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm

橫向加載控制

NanoFlip 可提供 Gemini 雙子星選件，業內真正實現原位橫向力和橫向位移的直接測量，業內在納米尺度上精準的實現多維度的磨損測試，實現多維度的動態力學

工作模式：

• 測量材料的摩擦系數或泊松比

• 精確的載荷、位移、動態響應在橫向和縱向的控制

• 多維度的硬度、磨損、黏附性的精準測量

• 亞納米級移動精度的樣品臺，實現精確定位

• 實現橫向的納米和納牛級的準靜態和動態測試

KLA 全系列的 InSEM 產品的動態測試附件是由連續剛度技術的發明人研發的：動態力學測試原理為在準靜態加載過程中，施加在壓頭上一個正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載荷、時間或者頻率的變化材料力學性能的變化：

• 動態激發頻率：0.1Hz-1000Hz

• 單次動態力學測試可以代替>100 次靜態力學測試結果

• 在微小的力和位移測試下提供超精準的動態力學測試

• 實現檢測高分子材料的復合彈性模量

• 實現檢測軟材料蠕變性能

原位快速表面 表面 3D 力學 力學性能 性能 Mapping 功能

• 快速的樣品表面硬度和楊氏模量的 Mapping 功能。

• 同時給出不同成分的力學結果的統計數據。

• 不受樣品表面粗糙度和其它因素的影響

原位快速表面4D力學性能性能Mapping功能

KLA 的 NanoBlitz 4D 再次極大的擴展了 已經得到全行業認可的連續剛度測試功能（ Continuous Stiffness

Measurement ) ，可以快速獲取到樣品硬度和楊氏模量在 XY向上的分布情況以及由表往里隨樣品壓入深度的變化情況，

用戶通過自定義恒應變速率，非常快速(7s/點)的對各種樣品和復合材料進行力學研究，也可以應用于各種失效分析

KLA InSEM 系列可以和各個SEM和FIB廠商的主流型號聯合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。

KLA 公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。KLA InSEM 系列：*的激發器的結構設計，*實現載荷和位移的分別控制和探測，實現納米壓痕檢測，包括動態力學測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

InForce50 載荷激發器 載荷激發器

• 加載載荷： 50mN

• 縱向載荷分辨率： 3nN

• 壓頭移動范圍：45um

• 位移噪音背景:<0.01nm

• 位移數字分辨率：<0.002nm

InForce1000 載荷激發器 載荷激發器

• 加載載荷： 1000mN

• 縱向載荷分辨率： 6nN

• 壓頭移動范圍：80um

• 噪音背景:<0.1nm

• 位移數字分辨率：<0.004nm

NanoFlip 的樣品臺處于“Up”狀態時，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進行微區定位，當

樣品臺處于“Down”狀態時，SEM/FIB 又可以對整個力學實驗過程進行實時觀察并進行實

時的視頻捕捉