二手場發(fā)射顯微鏡SEM：儀器簡介

    掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經(jīng)濟的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電子顯微鏡

查看環(huán)境條件

   掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。一般情況下，環(huán)境溫度需控制在22～25℃，相對濕度以小于70%為宜，保證實驗室清潔整齊，避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機，特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。

檢查光學系統(tǒng)

    電子光學系統(tǒng)是由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈組成的，也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行，必須調(diào)節(jié)這些部件合軸，即光闌對中。而電鏡初學者往往一味地進行調(diào)焦、變倍操作，可是得到的圖像仍不清楚，于是懷疑電鏡出現(xiàn)故障。

檢查真空系統(tǒng)

     電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵、管道、真空測量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞，增加燈絲壽命，所以必須高度關注真空系統(tǒng)，定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值，或是打開真空監(jiān)控器（Gun　Monitor）實時監(jiān)控真空值。對于ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡，需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常狀態(tài)需進行必要的檢查和維護保養(yǎng)，如檢查各真空系統(tǒng)部件或進行烘烤操作。

應用范圍

   場發(fā)射掃描電子顯微鏡，廣泛用于生物學、醫(yī)學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產(chǎn)品生產(chǎn)質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。該儀器的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力，尤其是采用新數(shù)字化圖像處理技術，提供高倍數(shù)、高分辨掃描圖像，并能即時打印或存盤輸出，是納米材料粒徑測試和形貌觀察*儀器。也是研究材料結構與性能關系所*的重要工具。

二手場發(fā)射顯微鏡SEM：場發(fā)射掃描電子顯微鏡的案例分析

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實例二：客戶需對碳納米管和石墨烯進行SEM形貌觀察