激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。激光干涉?zhèn)鞲衅骺蓱糜诰荛L度計量，如線紋尺和光柵的檢定，量塊自動測量，精密絲桿動態(tài)測量等，還可用于工件尺寸、坐標尺寸的精密測量中。

中圖儀器推出的SJ6000便攜式激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。能輕松實現(xiàn)運動導軌的快速精確測量，以及反向間隙修正和螺距補償，以及實現(xiàn)位移、速度、加速度以及振幅頻率的動態(tài)測量與分析。

主要特點

1、方便攜帶（無控制電箱設計，全套系統(tǒng)總重小于15kg）

2、安裝簡便（兩點式調(diào)光，無需三角架）

3、測量效率高（一次裝調(diào)5-6個參數(shù)同時測出）

4、高效補償（空氣溫度，材料溫度，空氣壓力）

SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學組件結合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，精度高且效率業(yè)高，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)。