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YH-J100-ES-02 精密半導(dǎo)體潔凈車間用無塵潔凈烘箱

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      深圳市怡和興機(jī)電科技有限公司于2000年成立于深圳,是一家專業(yè)從事高溫烘烤設(shè)備與自動(dòng)化智能化烘烤設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售于一體的科技型公司。公司長(zhǎng)期致力于為客戶提供烘烤、干燥、自動(dòng)化、智能化解決方案,目前已取得16項(xiàng)證書,已成為多家大規(guī)模企業(yè)及研究所專業(yè)設(shè)備供應(yīng)商。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè),怡和興擁有近20年的技術(shù)積累和經(jīng)驗(yàn)傳承,主要產(chǎn)品包含厭氧烤箱、潔凈烤箱、光刻烤箱、無氧化烘箱、無塵烘箱、晶圓退火烘箱等,為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)線自動(dòng)化設(shè)備提供行業(yè)內(nèi)完善的整合方案。

同時(shí)針對(duì)新能源和新材料行業(yè),怡和興具備強(qiáng)大定制化服務(wù)能力。公司根據(jù)客戶的實(shí)際使用需求,定制用于干燥、老化或評(píng)價(jià)性試驗(yàn)用途的烤箱。包括各類精密箱式烘烤設(shè)備、非標(biāo)定制隧道式烘烤設(shè)備、自動(dòng)化烘烤設(shè)備、真空烘烤設(shè)備、潔凈烘烤設(shè)備、防爆等烘烤設(shè)備,防潮工程及防潮儲(chǔ)存設(shè)備等。產(chǎn)品緊跟工業(yè)4.0與智能智造趨勢(shì),開發(fā)設(shè)備集成管理系統(tǒng),物聯(lián)網(wǎng)解決方案等滿足客戶對(duì)高精度,設(shè)備監(jiān)控及數(shù)據(jù)采集等功能需求,為客戶提高生產(chǎn)效率并建立可靠的評(píng)估體系。

怡和興公司堅(jiān)持不斷“創(chuàng)新”,為客戶提供 “穩(wěn)定”可靠的設(shè)備產(chǎn)品,以為客戶提高“時(shí)效”為我們的追求。公司自成立以來,已經(jīng)獲得“國(guó)家技術(shù)企業(yè)”“廣東省優(yōu)秀自主品牌”“中國(guó)科技創(chuàng)新重點(diǎn)推廣品牌”“中國(guó)名優(yōu)產(chǎn)品”“2010上海世博會(huì)民營(yíng)企業(yè)聯(lián)合館榮譽(yù)證書”等榮譽(yù),公司的產(chǎn)品也通過了CE,F(xiàn)CC,設(shè)備安全性認(rèn)證等。



半導(dǎo)體烤箱,無塵烤箱,潔凈烤箱,工業(yè)烤箱,無氧烤箱,真空烤箱,定制烤箱,高溫烤箱,隧道爐,防潮柜

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,能源,電子,印刷包裝

1. 適用區(qū)域

潔凈烘箱適合于潔凈車間內(nèi)使用,適用于高精密半導(dǎo)體中烘干,膠水固化,精密光學(xué)元件清洗后烘干等熱處理。

2. 設(shè)備特點(diǎn):

1) SUS304 1.5mm不銹鋼板,全滿焊工藝;

2) 箱內(nèi)風(fēng)道內(nèi)設(shè)有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器??墒褂脫Q氣和不換氣模式,可以使箱內(nèi)保證微正壓,以保證污染物不能進(jìn)入內(nèi)箱;

3) 高效過濾器HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室,可以對(duì)箱體內(nèi)氣體進(jìn)行單向過濾和循環(huán)過濾。根據(jù)使用要求,可以滿足潔凈級(jí)別ISO Class 5(國(guó)標(biāo)100級(jí)),ISO Class 6(國(guó)標(biāo)1000級(jí)),ISO Class 7(國(guó)標(biāo)10000級(jí))等各種等級(jí)的需求;

4) 配置自動(dòng)充氮?dú)庋b置,與自動(dòng)開關(guān)風(fēng)門進(jìn)行充氮烘烤;

5) 全新開發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng),帶高精度PID主控儀,控溫精度為±0.1℃,自動(dòng)恒溫??梢员4媾浞?,查看溫度曲線,導(dǎo)出升溫?cái)?shù)據(jù)等;

6) 根據(jù)使用要求,可以接受定制。

3. 規(guī)格明細(xì)表

型號(hào)

YH-J100-ES-02

工作穩(wěn)定范圍

常溫150℃

使用電壓

三相五線380V,50Hz

控溫精度

±0.1

加熱功率

6KW

溫度均勻性

±3%℃



溫度穩(wěn)定度

±2

尺寸

工作尺寸

H910mm*W620mm*D620mm




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