PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)
- 公司名稱 蘇州英蒔特儀器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/2/23 9:34:07
- 訪問次數(shù) 2823
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蘇州英蒔特儀器科技有限公司是一家專業(yè)的檢測儀器供應商、服務商以及實驗室整體檢測方案配套銷售的綜合性公司，坐落于交通便利的江蘇省昆山市，公司是由行業(yè)資深人士創(chuàng)辦并專注于代理國內外廠商儀器；
材料熱分析儀器，熱重量法(TG)、差示掃描量熱法(DSC)、差(示)熱分析(DTA)、導數(shù)熱重量法(DTG)、熱機械分析(TMA)和動態(tài)熱機械分析(DMA)
材料成分檢測儀器，氣相色譜質譜聯(lián)用儀（GC-MS）、X熒光光譜儀（XRF）、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、液相色譜（LC）、傅立葉變換紅外光譜儀（FT-IR）
ROHS2.0實驗室建立，前期規(guī)劃與設計、檢測方法介紹、儀器選擇、耗材及售后維護等，相關法律法律法規(guī)咨詢一站式服務。
紅外光譜儀器、X熒光光譜儀器、GC-MS氣相氣質儀器、LC液相色譜儀器
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器類型 | 實驗室型 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 紅外輔助設備 | 應用領域 | 化工,石油,電子 |
| 檢測硅片大小 | 12寸 |
PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)
PIKE技術公司提供了全自動的分析配件半導體晶片。我們的MappIR和MAP300配件提供了EPI、BPSG、2-12英寸（50-300毫米）的氧和碳的分析。MappIR和MAP300的開發(fā)是為了為半導體行業(yè)提供負擔得起的自動化工具，用于硅片的研究和質量控制。MappIR是開發(fā)用于分析8英寸（200毫米）和更小的半導體晶圓。MAP300是最初設計的更大版本，它能夠處理12英寸（300毫米）的晶圓格式。這兩種系統(tǒng)的操作、電子設備和軟件都是相同的。
MappIR和MAP300附件安裝在FTIR光譜儀的樣品室中。半導體晶圓由彈簧加載的Delrin固定夾固定，從不與附件的鋁級接觸。提供了一個標準尺寸的真空或機械棒的插槽，以方便晶圓處理。每個晶片由步進電機按照系統(tǒng)操作員預先編程的順序旋轉/或翻。
完整的硬件和軟件包的自動化，多位置測量和映射的半導體晶圓8英寸（200毫米）和12英寸（300毫米）的半導體晶片處理。可選的插入物為晶片尺寸從2到12英寸EPI、BPSG、氧和碳的測定分子光阻和透射采樣。標準用于消除大氣干擾的可凈化的附件USB控制器接口。
PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)
為了通過紅外測量盡量減少對水蒸氣和二氧化碳的干擾，附件的光路配有吹掃線，可以用干燥的空氣或氮氣進行吹掃。晶圓清洗外殼。附件由AutoPRO軟件控制，該軟件為多點晶圓分析（映射）提供了一個簡單的用戶界面。多達320個點與8毫米梁和5毫米邊緣排除可以測量一個12英寸的晶圓。軟件提供充足的存在性建立各種實驗。
AutoPRO軟件包的優(yōu)點圖形化和智能化的用戶界面，用以設置映射模式晶片尺寸的選擇，紅外光束直徑和邊緣排除操作員可選擇或預的多點映射極坐標和/或笛卡爾坐標選項實時顯示實驗狀態(tài)具有保存和回憶各種實驗模式的能力用于宏/腳本的接口^和^^進口商數(shù)據(jù)的采集和處理工作由光譜儀提供軟件許多FTIR制造商提供專門的軟件包它將附件與光譜儀*集成起來。如果這樣有一個選項不可用，AutoPRO可以由光譜儀的程序通過宏。AutoPRO符合Windows當單獨運行時，它允許控制，編程和附件的控制。PIKE自動晶片配件兼容大多數(shù)商業(yè)FTIR光譜儀和軟件包。
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