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化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>其它測厚儀 >FR-Mic 全自動帶顯微鏡多點測量

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FR-Mic 全自動帶顯微鏡多點測量

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岱美儀器技術服務(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經驗的高科技設備分銷商,主要為數據存儲、半導體、光通訊、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。自1989年創立至今,岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區。


岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:

晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 電子,綜合
  FR-Mic多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個微米,進而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺專用計算機控 制的 XY 工作臺,使其快 速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性 。也可以搭配自動平臺測量 400x400mm 大小樣品。
  Thetametrisis利用 FR-Mic,通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區域薄膜厚度,厚度映射,光學常數,反射率,折射率及消光系數進行測量。
  【相關應用】
  高校 & 研究所實驗室
  半導體制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)
  MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)
  LEDs, VCSELs 多層膜測量應用
  數據存儲
  陽極處理氧化膜
  曲面基底的硬化涂層
  聚合物膜層, 粘合劑.
  生 物醫學(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)
  OEM或客制化應用
  【特點】
  實時光譜測量
  薄膜厚度,光學特性,非均勻性測量, 厚度映射
  使用集成 USB 高品質彩色攝像機進行成像 (所視即所測)

【技術參數】


  *測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關。
  【工作原理】


  1、規格如有更改,恕不另行通知;
  2、測量結果與校準的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,
  3、連續 15 天測量的標準方差平均值。樣品:(1um SiO2 on Si.) ,
  4、100 次厚度測量的標準方差,樣品:1um SiO2 on Si.
  5、超過 15 天的標準偏差日平均值樣品:1um SiO2 on Si。
  6、使用反射式物鏡。







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