PCE-6 小型-等離子清洗機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PCE-6
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/10/24 14:34:04
- 訪問次數 2327
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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儀器種類 | 通用型 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子 |
PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,占用的空間少,可有效節約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。
2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。
產品名稱 | PCE-6小型等離子清洗機 | |
產品型號 | PCE-6 | |
主要參數 | 1、電源:AC220V 50/60Hz | |
2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W | ||
3、真空泵功率:<500W | ||
4、總功率:<600W | ||
5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節 | ||
6、等離子腔體:高純石英腔體Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Ø45mm的觀察窗 | ||
7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵 | ||
8、極限真空度:50mtorr | ||
9、通入氣體:可通入多種氣體來產生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據材料性質選定) | ||
清洗及蝕刻 | ||
產品規格 | 尺寸:400mm×300mm×300mm | |
重量:10.2kg | ||
可選配件 | 1、2"-6"石英舟(盛放基片) | |
2、2-4通道質子或浮子混氣系統 |