平行板電容式PECVD
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- 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 沈陽
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/5/8 17:51:53
- 訪問次數 884
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
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平行板電容式PECVD是一種用等離子體激活反應氣體,促進在基體表面或近表面空間進行化學反應,生成固態膜的技術。等離子體化學氣相沉積技術的基本原理是在高頻或直流電場作用下,源氣體電離形成等離子體,利用低溫等離子體作為能量源,通入適量的反應氣體,利用等離子體放電,使反應氣體激活并實現化學氣相沉積的技術。該系統為單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝研發設備,用于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。1、系統采用單筒式結構,手動前開門
2、高真空環境下進行沉積薄膜
3、不銹鋼腔體
4、樣品臺可轉動
產品名稱 | 平行板電容式PECVD | |
安裝條件 | 1、環境溫度:10℃~35℃ 2、相對濕度:不大于75% 3、供電電源:220V、單相、50±0.5 Hz 4、設備功率:小于4KW 5、供水:水壓0.2MPa~0.4MPa,水溫15℃~25℃, 6、設備周圍環境整潔,空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。 | |
主要參數 | 1、系統采用單室筒式結構,手動前開門; 2、真空室組件及配備零部件全部采用優質不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空室尺寸為Φ300mm×300mm; 3、極限真空度:8.0x10-5 Pa (經烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用4L/S); 系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統從大氣開始抽氣到8.0x10-4 Pa,40分鐘可達到; 停泵關機12小時后真空度:≤20 Pa; 4、采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進氣; 5、樣品最高加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用溫控表進行控溫; 6、噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距15-50mm在線連續可調(可根據工藝調整),并帶有標尺指數顯示; 7.、沉積工作真空:13.3-133Pa(可根據工藝調整); 8、射頻電源:頻率 13.56MHz,最大功率300W全自動匹配; 9、氣體種類(用戶自備),標準配置為2路100sccm質量控制器,用戶可根據工藝更改氣路配置; 10、系統尾氣處理系統(用戶自備)。 |
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