微型PECVD系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/8/19 14:10:06
- 訪問次數 2328
產品標簽
聯系方式：范先生18016035557 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,能源,電子 |
|---|---|---|---|
| 溫控方面 | 采用PID方式調節溫度，同時可設置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃ |
等離子源：
等離子體射頻電源：110V或220VAC,50/60Hz,<100W
輸出頻率：13.56MHz
三檔射頻功率大小：7.2W.10.5W和18W（可調節）
腔體尺寸：3"ODx2.7"IDx16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內部的真空度為10^-2torr（用機械泵)
滑動法蘭：
•有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內，以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸：50mmODx40mmIDx70mm，可使樣品達到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩，以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調節溫度，同時可設置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃
輸入電源：AC220V
•混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM
•三個機械壓力表：-0.1-0.15MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸：340Lx300Dx180H,mm（13.4"x12"x7")!
凈重:141bs.
真空和氣體接口：
標準的真空配置有
•一套3”的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍
•一個數字式真空顯示計
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。
•可以調整腔體內的壓力或是進氣流量，確保等離子體達到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵：
•儀器中配有一雙旋機械真空泵，其抽氣速率為120L/min,
進氣口為KF25接口，可以使腔體內真空度小于30mTorr
移動架：
設備中配有—600Lx600Wx600H（mm)的移動架，整個CVD系統可以安置于其上面
儀器尺寸：
•等離子源：8.5"Hx10"Wx8"D
•溫控盒：4"Hx10"Wx8"D
移動架：600x600x600mm
重量：
701b(包含真空泵)
質保期：
一年質保期（不包含石英管和密封圈）
等離子體射頻電源：110V或220VAC,50/60Hz,<100W
輸出頻率：13.56MHz
三檔射頻功率大小：7.2W.10.5W和18W（可調節）
腔體尺寸：3"ODx2.7"IDx16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內部的真空度為10^-2torr（用機械泵)
滑動法蘭：
•有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內，以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸：50mmODx40mmIDx70mm，可使樣品達到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩，以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調節溫度，同時可設置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃
輸入電源：AC220V
•混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM
•三個機械壓力表：-0.1-0.15MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸：340Lx300Dx180H,mm（13.4"x12"x7")!
凈重:141bs.
真空和氣體接口：
標準的真空配置有
•一套3”的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍
•一個數字式真空顯示計
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。
•可以調整腔體內的壓力或是進氣流量，確保等離子體達到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵：
•儀器中配有一雙旋機械真空泵，其抽氣速率為120L/min,
進氣口為KF25接口，可以使腔體內真空度小于30mTorr
移動架：
設備中配有—600Lx600Wx600H（mm)的移動架，整個CVD系統可以安置于其上面
儀器尺寸：
•等離子源：8.5"Hx10"Wx8"D
•溫控盒：4"Hx10"Wx8"D
移動架：600x600x600mm
重量：
701b(包含真空泵)
質保期：
一年質保期（不包含石英管和密封圈）
相關分類
該廠商的其他產品
- OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD 1200℃三溫區PE粉體回轉爐系統
- OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL 三溫區1500℃PECVD系統
- OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE 1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統
- OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL 帶有預熱系統的滑動PECVD
- OTF-1200X-PESDSF-50 雙爐體滑動PECVD系統-循環手套箱
- OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL 滑動式雙溫區PECVD
- OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動PECVD管式爐系統
- OTF-1200X-50S-PE 小型PVE管式爐系統
采購中心
化工儀器網