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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>分子束外延(MBE)>FPSEM-STE35 三腔室分子束外延MBE系統(tǒng)

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FPSEM-STE35 三腔室分子束外延MBE系統(tǒng)

參考價(jià)950000-1750000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
  • 品牌孚光精儀
  • 型號(hào)FPSEM-STE35
  • 所在地上海市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間2024/12/16 9:25:41
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1200

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孚光精儀是進(jìn)口精密儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備供應(yīng)商,是*基于激光和成像等光子技術(shù)分析測(cè)試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商,服務(wù)商。
孚光精儀公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國(guó)客戶提供*分析測(cè)試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國(guó)的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。

21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測(cè)試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和先進(jìn)制造*的分析,計(jì)量,測(cè)試和實(shí)驗(yàn)工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是*精密測(cè)試分析的有力實(shí)驗(yàn)技術(shù)。


孚光精儀公司就是這樣一個(gè)以光學(xué)為特色的進(jìn)口儀器和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備公司,擁有齊全的進(jìn)口精密(光學(xué))儀器種類,龐大而可靠的國(guó)外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測(cè)試技術(shù)儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器的旗艦型供服務(wù)商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學(xué)/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學(xué),致力于光學(xué)精密儀器事業(yè)。


公司價(jià)值
孚光精儀-精通光學(xué),服務(wù)科學(xué)

經(jīng)驗(yàn)豐富的激光和光學(xué)技術(shù)工程師幫助用戶出具方案,確認(rèn)適合應(yīng)用的精密

光學(xué)儀器和科學(xué)儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進(jìn)口體驗(yàn)。
以豐富的進(jìn)口操作經(jīng)驗(yàn)和電子商務(wù)管理體系,高效溝通國(guó)外制造商,為用戶提供高效的儀器進(jìn)口和購(gòu)置服務(wù)!
齊全的光學(xué)種類
涵蓋了所有光學(xué)和激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和相關(guān)儀器

熒光光學(xué)成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學(xué)儀器)

分子生物學(xué)

光學(xué)儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

醫(yī)用

光學(xué)儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測(cè)試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術(shù)的粒度和濃度

測(cè)試儀器

光學(xué)成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷技術(shù)和儀器 (基于激光和成像技術(shù),融合光譜分析技術(shù)組建PIV,PLIF,溫度探測(cè),燃燒分析成像等儀器)

無(wú)損光學(xué)檢測(cè)儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學(xué)內(nèi)窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學(xué)顯微鏡

通用

實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備(包含所有涉及光學(xué)技術(shù)的實(shí)驗(yàn)儀器)

服務(wù)和應(yīng)用領(lǐng)域

生物光子學(xué)

生命科學(xué)

醫(yī)學(xué)成像

制藥

食品工程

化學(xué)和化工

 

實(shí)驗(yàn)室儀器實(shí)驗(yàn)室建設(shè)

流體力學(xué)

工程熱物理

燃燒診斷分析

發(fā)動(dòng)機(jī)研發(fā)

航空航天

地球物理科學(xué)

地質(zhì)和石油勘探


半導(dǎo)體和微電子

 

 

 

 

 

先進(jìn)制造

新能源

材料科學(xué)

儀器科學(xué)與技術(shù)

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客戶群體
     
高等院校

*系統(tǒng)研究院所

中國(guó)國(guó)有企業(yè)及其研究院所

外資企業(yè)


高效的服務(wù)體系
總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉(cāng)庫(kù),在香港設(shè)立貿(mào)易公司,擁有遍布全國(guó)的代理商,供應(yīng)商遍布美國(guó)、德國(guó)、英國(guó)、法國(guó)、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛(ài)沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢(shì)國(guó)家和地區(qū)。
公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進(jìn)口程序,為客戶提供高效技術(shù)儀器進(jìn)口服務(wù),為制造商提供高效出口服務(wù)。

靈活的購(gòu)買方式
孚光精儀在天津和上海均有進(jìn)口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報(bào)關(guān),進(jìn)出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進(jìn)口服務(wù),幫助出口商/制造商完成清關(guān)服務(wù),并送貨到用戶地址。

 

外方經(jīng)理定期來(lái)華辦公指導(dǎo)                                             工作園區(qū)一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務(wù)和質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽(yù)*的*產(chǎn)品和服務(wù)供應(yīng)商。國(guó)內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購(gòu)各種產(chǎn)品。如:
*上海光機(jī)所

*西安光機(jī)所

*安徽光機(jī)所

*長(zhǎng)春光機(jī)所

*合肥物質(zhì)研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所
中國(guó)工程物理研究院
華中光電技術(shù)研究所
中國(guó)電子集團(tuán)公司53

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中國(guó)科技大學(xué)


哈爾濱工業(yè)大學(xué)
山東大學(xué)
武漢大學(xué)
南開(kāi)大學(xué)

天津大學(xué)


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

生長(zhǎng)溫度 900度

三腔室分子束外延系統(tǒng)是帶有三個(gè)MBE分子束外延生長(zhǎng)腔室的異質(zhì)結(jié)材料MBE生長(zhǎng)設(shè)備,可用于在高達(dá)100mm的襯底上以及三個(gè)2英寸以上襯底上一次精確生長(zhǎng)外延層,獲得很好的厚度和均勻性能。
三腔室分子束外延系統(tǒng)使用PA-МВЕNH3-MBE特殊型號(hào)的MBE生長(zhǎng)設(shè)備,可生長(zhǎng)InAlGaAsSbInGaAlN外延異質(zhì)結(jié)構(gòu)。
在使用其他制造商的擴(kuò)散池時(shí),由于改變了“源到襯底”的距離(晶圓和加熱器同時(shí)進(jìn)行*的垂直移動(dòng)),因此可以進(jìn)行額外的均勻性優(yōu)化。
三腔室分子束外延系統(tǒng)是一個(gè)三室超高壓系統(tǒng),包括單獨(dú)泵送的生長(zhǎng)室、用于預(yù)生長(zhǎng)準(zhǔn)備的緩沖/放氣室和負(fù)載鎖定室。所有腔室通過(guò)真空門和普通的半自動(dòng)基板轉(zhuǎn)移系統(tǒng)連接。生長(zhǎng)過(guò)程由基于原有軟件的自動(dòng)化系統(tǒng)控制。它允許控制過(guò)程手動(dòng)或在自動(dòng)模式下使用編程配方。
三腔室分子束外延MBE系統(tǒng)

三腔室分子束外延系統(tǒng)基本配置:
•具有垂直生長(zhǎng)幾何結(jié)構(gòu)的生長(zhǎng)室,通過(guò)離子/低溫泵(用于常規(guī)III Vs)或TMP/C Ryopump(用于III氮化物)和鈦升華泵進(jìn)行泵送
10×63CF孔,用于帶百葉窗的滲出池,1個(gè)中心63CF孔和最多3×40CF無(wú)百葉窗的外部孔,用于V組材料閥門裂解器或氣源;紅外高溫計(jì)或激光干涉測(cè)量孔
•通過(guò)生長(zhǎng)室上的幾個(gè)視口可以看到所有滲出細(xì)胞孔
•單個(gè)液氮冷凍板,有效包圍生長(zhǎng)體積(NH3-MBE生長(zhǎng)操縱器的附加冷凍板)
•基于PBN/PG/PBN的生長(zhǎng)機(jī)械手加熱元件,具有高均勻性和快速上下動(dòng)態(tài)
•一套分子源,包括5個(gè)滲出細(xì)胞和V組的源(帶閥裂解器、氮等離子體源或氨注入器)
•最高基板溫度-不低于900°С(NH3-MBE不低于1200°С)
•現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)工具:RHEED、紅外高溫計(jì)、RGA和激光干涉儀(用于III氮化物生長(zhǎng))
•準(zhǔn)備室,帶有用于基板支架(7個(gè))和晶片脫氣臺(tái)的存儲(chǔ)盒,原子氫源專用端口
•帶儲(chǔ)物盒的裝載鎖室,用于基板支架(8個(gè)),帶有配備手套箱的快速檢修門
•一套基板支架
•適當(dāng)?shù)某邏簝x表
•烘烤系統(tǒng)(高達(dá)200°C),無(wú)熱點(diǎn)形成
•控制電子設(shè)備
•基于原始軟件的過(guò)程控制系統(tǒng)
三腔室分子束外延系統(tǒng)主要優(yōu)勢(shì):
•“實(shí)驗(yàn)室到工廠”的概念,允許開(kāi)展從基礎(chǔ)研究到異質(zhì)結(jié)構(gòu)試生產(chǎn)的活動(dòng)
•鋁(冷唇)專用滲出細(xì)胞,操作穩(wěn)定,鎵(熱唇)提供低橢圓形缺陷密度
•在系統(tǒng)基本配置中對(duì)生長(zhǎng)過(guò)程進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)的所有必要工具
•特別設(shè)計(jì)的生長(zhǎng)操縱器,提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動(dòng)態(tài)
•安裝期間的有效技術(shù)支持,包括基本工藝轉(zhuǎn)移
•簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作和定期的技術(shù)維護(hù)
三腔室分子束外延系統(tǒng)參數(shù):

烘烤后生長(zhǎng)室的最終真空度,Torr<5×10-11
最大基板直徑,mm1003×2block
100mm晶圓的厚度和復(fù)合不均勻度,%±1
“源到基片”距離,mm135÷210
滲出細(xì)胞百葉窗設(shè)計(jì)基于磁耦合旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的無(wú)沖擊驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
百葉窗葉片材料鉭、鉬或PBN(可選)
生長(zhǎng)機(jī)械手加熱元件的設(shè)計(jì)PBN/PG/PBN
生長(zhǎng)操縱器的最高工藝溫度,不低于,℃900
NH3-MBE1200
準(zhǔn)備室中基板脫氣溫度,不低于,℃650
III氮化物為1100
生長(zhǎng)室烘烤溫度,不低于,℃200
離子泵容量,不小于,l/s
–生長(zhǎng)室(III-NTMP
–準(zhǔn)備室
–負(fù)載鎖定

800 (2000)
500
300



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